附录G 洁净室气密性检测方法G 1 原、理G,1，1，保持室内为正压或负压均能满足检验要求，但条件允许时 负压洁净室宜用正压检验 正压洁净室宜用负压检验。G 1 2，可按以下方法进行检测 1，压力衰减法使室内达到某一压力.正压或负压.关闭加压或抽负压系统，观察压力随时间衰减的情况,记录下压力衰减到起始压力的一半时所用的时间,即为测量室内正压或负压的半衰期 2、恒压法使室内达到某一正压,同时向室内补气、使室压达到要求的稳定值而不下降时的补气量即为漏泄量.使室内达到某一负压、使室压维持要求的稳定值而不下降时的抽气量即为漏泄量，