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- 硅集成电路芯片工厂设计规范 GB 50809-2012
- 1 总 则
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- 3 工艺设计
- 4 总体设计
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- 8 给排水及消防
- 8.1 一般规定
- 8.2 给 排 水
- 8.3 消 防
- 8.4 灭 火 器
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8 4。灭、火 器8，4.1、在洁净区内应设置灭火器 8。4.2,洁净区内宜选用二氧化碳等对工艺设备和洁净区环境不产生污染和腐蚀作用的灭火剂,8。4 3 在洁净区内的通道上宜设置推车式二氧化碳灭火器.8。4，4 其他灭火剂的选择应计及配置场所的火灾类型 灭火能力。污损程度、使用的环境温度以及与可燃物的相容性，
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