1.总,则1、0。1,为在硅集成电路芯片工厂设计中贯彻执行国家现行法律,法规。满足硅集成电路芯片生产要求 确保人身和财产安全,做到安全适用,技术先进,经济合理、环境友好、制定本规范、1 0、2,本规范适用于新建。改建和扩建的硅集成电路芯片工厂的工程设计。1.0 3 硅集成电路芯片工厂的设计应满足硅集成电路芯片生产工艺要求,同时应为施工安装,调试检测,安全运行、维护管理提供必要条件,1.0,4。硅集成电路芯片工厂的设计,除应符合本规范外,尚应符合国家现行有关标准的规定。

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