10，4.废、水10，4 1,硅集成电路芯片工厂生产废水处理系统应根据废水污染因子种类 水量。当地废水排放要求等设置分类收集。处理的废水处理系统、10。4、2.生产废水处理系统应设置应急废水收集池，10,4。3、连续处理的生产废水系统应设置调节池。调节池的大小应根据废水水量及水质变化规律确定、10.4，4 废水处理系统的设备及构筑物应设置放空设施，10，4,5。生产废水系统污泥脱水设备应根据污泥脱水性能和脱水要求确定，10，4、6。沉淀池所排出的污泥在进行机械脱水前宜先进行浓缩.污泥进入脱水设备前的含水率不宜大于98 10。4，7。污泥脱水间应预留脱水后泥饼的贮存或堆放的空间。并应根据外运条件设置运输设施和通道 10。4 8 废水处理系统的设备及构筑物应根据所接触的水质采取防腐措施 10 4,9、废水处理应遵循节水优先。分质处理、优先回用的原则，