10.3,纯、水10,3。1,硅集成电路芯片工厂纯水系统设计应根据生产工艺要求,合理确定纯水制备系统的规模,供水水质，10、3，2,纯水的制备,储存和输送的设备和材料，除应满足所需水量和水质要求外,尚应符合下列规定，1，纯水的制备 储存和输送设备的配置应确保系统满足运行安全可靠。技术先进 经济适用.便于操作维护等要求。2、纯水的制备、储存和输送设备材料的选择应与其接触的水质相匹配。设备内表面应满足光洁 平整等物理性能。同时应化学性质稳定，耐腐蚀。易清洗。10.3，3、纯水系统应采用循环供水方式,纯水输配系统应根据水质.水量，用水点数量，管道材质以及使用点对水压稳定性等要求确定、可选择采用单管式循环供水系统。直接回水的循环供水系统或逆向回水的循环供水系统.并应符合下列规定,1,纯水输配系统的附加循环水量宜为额定耗用水量的25,50。2、纯水管道流速的选择应能有效地防止水质降低和微生物的滋生 并应兼顾压力损失。供。回水管流速分别不宜低于1。5m、s和0。5m，s、3，纯水输配管路系统应根据系统运行维护的需要设置必要的采样口,4，工艺设备二次配管。且截止阀离设备较远时 宜安装回水管 10。3、4.用于纯水系统的水质检测设备及仪表 其安装不应使纯水水质降低。其检测范围和精度应符合纯水生产和检验的要求,10 3，5 纯水精处理或终端处理装置宜靠近主要用水工艺设备设置 10、3 6.纯水系统管道材质的选用.应符合下列要求.1 应满足纯水水质指标的要求.2。材料的化学稳定性应高.3,管道物理性能应好。内壁光洁度应高、4 不得有渗气现象。10，3,7。纯水管道的阀门和附件的选用应符合下列规定、1。应选择与管道相同的材质 2。应选用密封好,结构合理，无渗气现象的阀门、10,3、8，纯水废水回收设计应与硅集成电路芯片生产工艺设计密切配合,并应根据工程实际情况 回收水质,水量、结合当前的技术.经济条件等合理确定回收率。10，3，9 回收水处理系统流程的拟定和设备的选择.应根据工程的具体情况 回收水水质,水量以及处理后的用途等因素综合确定.当不能取得回收水水质资料时，可按已建同类工程经验或科学实验确定,