3，工艺设计3，1、一般规定3、1、1、3，1，2。硅集成电路产品发展十分迅速、按照摩尔定律每个集成电路上可容纳的晶体管数目.约每隔18个月增加一倍。性能也将提升一倍，近年来,虽然集成电路发展的速度有所减缓、但变化依然十分巨大,同时集成电路生产所需的水 电的耗量较多，各种原材料和排放物的种类繁多，其中不乏对环境和安全等有较大影响的，因此硅集成电路的厂房设计。建造必须适应这种快速的发展与变化.提高生产效率，减少能耗,同时必须考虑到环保以及职业卫生和安全方面的要求.