10 9,特种气体10、9，1.特种气体宜采用外购钢瓶气体供应 在厂区内应设置储存，分配系统，10，9.2。特种气体宜根据危险性质和存储数量设置独立的气瓶间。10。9、3,洁净区内自燃,易燃，腐蚀性或有毒的特种气体分配系统的设置，应符合下列规定，1。危险气体钢瓶应设置在具有连续机械排风的特种气体柜中，2、排风机,泄漏报警,自动切断阀均应设置应急电源.3、一个特种气体分配系统供多台生产设备使用时.应设置多路阀门箱,10。9.4,特种气体分配系统应符合下列规定.1.应设置吹扫盘、2 应设置应急切断装置。3。应设置过流量控制装置，4、应设置手动隔离阀.5.运行过程中的吹扫气源不应使用厂区内大宗气体系统、6，不相容特种气体不得共用同一吹扫盘，