10、7，干燥压缩空气10。7。1,干燥压缩空气系统的设计必须考虑供气量。供气品质和压缩空气系统的损耗、从产品的工艺要求考虑,硅集成电路芯片工厂应该选用无油润滑空气压缩机。10,7、3 工程实践表明，当干燥压缩空气输送露点低于,76、时。采用内壁电抛光不锈钢管。当干燥乐缩空气输送露点低于,40.时、采用不锈钢管或镀锌碳钢管是较为经济合理的选择。10,7.4 工程实践表明 干燥压缩空气输送露点低于,40，时 用于管道连接的密封材料宜选用金属垫片或聚四氟乙烯垫片。