12、环境安全卫生12,0.1,硅集成电路行业发展十分迅速,特别在美国,日本,韩国,台湾等国家和地区 在硅集成电路芯片工厂的规模和技术上都处于领先地位。而且有数十年的经验.对于环境安全卫生方面的法律更加严格和完善,因此在设计中参考行业国际安全标准,可促进工厂运行过程中的保障措施更加完善。相关国际标准包括美国防火协会标准NFPA,国际半导体没备与材料协会标准SEMI 美国工厂联合保险协会标准FM等,12.0.3。紧急应变中心应同时兼具消防系统、气体侦测系统、广播系统,门禁系统。闭路电视系统等紧急应变相关系统的监视与操作功能 相关系统报警后在紧急应变同时应有声光报警显示,应配备完整的紧急应变设施.包括消防系统的应急手动操作设备.便携式气体浓度侦测设备.紧急应变救灾设备,医疗救助设备等。应有直接通向生产厂房及安全出口的通道。应有备用的第二紧急应变中心、且应与日常使用的紧急应变中心分别在不同的建筑物内设置,

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