5，2 工艺设备与工艺管道5,2、2、本条规定是为了保护洁净用房的室内环境、工艺设备及相关机械设备进入房间前应清洁.检查有无不宜进入洁净环境的材料,5 2,3、本条规定是为了便于对排出物进行收集处理，5 2。5，穿过洁净用房的工艺管道。其穿管处的密封是保证室内空气参数、尤其是静压差 含尘浓度、沉降菌浓度等参数。的重要一环、实践表明 采用套管方式是行之有效的.管材与套管间应采用微孔海绵、有机硅橡胶.橡胶圈及环氧树脂冷胶等进行密封 5，2,8.这些设施包括相应装置，制备、配置清洗剂.消毒剂及纯蒸汽的装置及循环输送管路等。