5.2 工艺设备与工艺管道5，2 2,本条规定是为了保护洁净用房的室内环境 工艺设备及相关机械设备进入房间前应清洁,检查有无不宜进入洁净环境的材料。5 2、3、本条规定是为了便于对排出物进行收集处理、5、2。5.穿过洁净用房的工艺管道。其穿管处的密封是保证室内空气参数、尤其是静压差 含尘浓度,沉降菌浓度等参数 的重要一环.实践表明,采用套管方式是行之有效的。管材与套管间应采用微孔海绵 有机硅橡胶.橡胶圈及环氧树脂冷胶等进行密封。5、2，8。这些设施包括相应装置 制备.配置清洗剂,消毒剂及纯蒸汽的装置及循环输送管路等，