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- 集成电路封装测试厂设计规范 GB 51122-2015
- 1 总 则
- 2 术 语
- 3 工艺设计
- 3.1 一般规定
- 3.2 技术设备
- 3.3 工艺布局
- 4 厂址选择及布局
- 5 建筑与结构
- 6 给排水与消防
- 7 电 气
- 8 净化空调及工艺排风
- 9 纯水与废水处理
- 10 气体与真空
- 附录A 集成电路封装测试厂工艺流程
- 本规范用词说明
- 引用标准名录
- 条文说明
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3，工艺设计3 1，一般规定3，1。1.生产环境宜符合表3,1，1的要求。表3。1,1 生产环境需求表3 1.2 生产过程所使用纯水的电阻率应符合下列规定。1，用于硅片清洗的纯水电阻率不宜低于15MΩ.cm、2 用于硅片划片的纯水电阻率宜在0。5MΩ cm.1MΩ，cm范围内 3，用于电镀工艺的纯水电阻率不宜低于2MΩ，cm,3.1，3.生产过程所使用气体的品质应符合下列规定.1，用于通孔 凸块工序的气体纯度不宜低于99。9999,露点不宜低于,60.2、用于中测,磨片。划片,粘片，焊线、塑封等工序的气体纯度宜在99。99 99。9999,范围内.露点宜在。40.60 范围内，
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