6。2。工艺循环冷却水系统6,2.1 工艺循环冷却水系统是集成电路封装测试厂的重要生产支持系统。工艺循环冷却水系统循环水量大、运行能耗高.因此工艺循环冷却水系统的设计应该充分考虑工艺生产设备对水温.水压和水质的需求.经技术经济比较后合理设置,6.2、2.工艺循环冷却水系统的实际使用负荷往往随着生产设备的实际运行而变化,为了满足水压、水量的要求，工艺循环冷却水系统的加压水泵通常都按变频恒压变流量的模式运行、设置备用泵是考虑工艺循环冷却水系统的运行安全，6。2，3、6.2,4。工艺循环冷却水系统过滤器和换热器设置备用是根据工艺循环冷却水系统的重要性和运行安全考虑.6、2,6.不同金属材料的管道和支架间采用绝缘材料的隔垫主要为防止电化学反应造成锈蚀.6、2,7，水质对工艺循环冷却水系统非常重要。因此水质稳定装置的合理选择和设置必须要充分考虑工艺循环冷却水系统的形式,系统中各设备和管道材料的材质以及工艺生产设备过水部分的材质,结合防腐.阻垢和灭菌的需要,