10,气体与真空10、1、大宗气体10.1。1 大宗气体供应系统宜在工厂内或邻近处设置制气装置是为了便于输送、如果外部气源能满足需求.采用外购液态气储罐或瓶装气体可节省工厂初期投资及便于管理.10.1,2.如果工厂对大宗气体的管理有明确要求,大宗气体可以设置气体质量监控系统。10,1、3,气体纯化装置是保证气体品质的重要设备.气体气源参数和使用参数是确定纯化装置的重要数据,当气体纯度要求较高时.规定应设置终端纯化器，终端纯化器靠近工艺设备是为了保证气体的品质、10.1、4 考虑到大宗气体系统在工程完工.检修后要对系统进行吹扫。同时考虑混合气体特性及系统的安全，规定混合气体管道的终端或最高点应设置放散管.放散管道上应设置阻火器.同时混合气体的管道入口处应设置自动切断阀门.同时管道应设置导出静电的设施、10。1.5 大宗气体管道和阀门的选择与工艺对气体品质的要求关联度较大 因此规定根据气体的纯度确定管道材料和阀门类型，同时规定气体管道阀门，附件的材质宜与相连接的管道材质一致，