13 2，设备安装13.2.1，生产工艺设备安装施工条件宜符合下列规定、1.安装生产工艺设备前，洁净厂房净化空调系统应已连续正常运行48h,照明系统应已正常工作.且现场应有便捷电源供应.2，大型，特殊要求的生产设备、应按设计要求在净化空调系统安装前就位 可按本规范附录A进行。3，洁净室，包括风淋室、应已启用、并应建立洁净厂房设备安装管理操作规程。13 2,2、洁净室。区，内生产设备安装施工用辅助材料应符合下列规定,1。应为无尘 无锈 无油脂且在使用过程中不产尘的清洁材料。2.应以洁净 无尘的板材 薄膜等材料保护洁净室，区、的建筑装饰表面、3 设备垫板应按设计或设备技术文件要求制作，如无要求时可用不锈钢板或塑料板，4,制作独立基础和地板加固用的碳钢型材应经防腐处理，表面应平整.光滑,5。用于嵌缝的弹性密封材料应有注明成分。品种、出厂日期,储存有效期和施工方法的说明书及产品合格证书 13 2,3、洁净室 区。使用的机具不得搬至非洁净室、区 使用，非洁净室 区，使用机具不得搬至洁净室,区.使用，洁净区使用机具应符合下列规定，1,机具外露部分不应产尘或采取防止尘埃污染环境的措施，2 常用机具在搬入洁净区前应在气闸室进行清洁处理.应达到无油.无垢。无尘。无锈的要求，并应经检查合格贴上，洁净,或。洁净区专用、标识后搬入 13，2 4，设备特殊基础应符合下列规定 1、洁净室地面为活动地板时,基础宜设置在下技术夹层地坪上或混凝土多孔板上。2,钢制框架结构的独立基础应采用镀锌材料或不锈钢材料制作 外露表面应平整，光滑、3、安装基础所需拆除的活动地板,经手持电锯切割后的钢结构应予加固.其承载能力不应低于原承载能力。13 2.5。墙板 吊顶和活动地板开洞应符合下列规定.1 开洞作业不得划伤或污染需保留的墙板，吊顶板表面、活动地板开口后不能及时安装基础时。应设安全护栏并设危险标识.2。生产设备安装后、洞口四周间隙应进行密封处理、并应做到设备与密封组件为柔性接触，密封组件与壁板的连接应紧密.牢固、工作间一侧的密封面应平整、光滑，13 2.6.拆除包装应符合下列规定，1，设备开箱拆除外包装应在设备搬入平台上进行。并不得破坏内包装，2,设备的内包装应在气闸室前拆除。拆除前应先用吸尘器。洁净布清除内包装外表面的尘粒 13。2、7，生产设备从搬入平台经搬入口、气闸室至洁净室 区.的搬运应符合下列规定、1、对搬入设备的最大件无法通过预留的门洞时，可保护性拆除门或洁净室隔断,应在设备搬入后再恢复到原有状态 2,沿搬运路线的门框。墙角等处应设保护措施。3，在活动地板上搬运设备时.应敷设软塑料保护层和不锈钢板或铝合金板，4.当搬运重量超过活动地板的承载能力时、应根据现场实际情况采取加固措施。并应采用不产尘的材料、13 2。8。洁净室 区、内搬运生产工艺设备，宜采用搬运车或气垫搬运装置。搬运时应控制其行进速度不得大于1m,s.13.2.9,设备就位安装应符合下列规定 1 在自流坪地面安装设备时 应有地面保护措施、2,在活动地板上吊装设备时、应核对活动地板的允许荷载、当允许荷载不能满足起吊荷重时 应对活动地板进行加固,3，设备就位安装需开孔时，应采用真空吸尘接口或吸尘器吸除所产生的尘粒 直至吸尽孔内积存的尘粒，