13.2 设备安装13 2,1。生产工艺设备安装施工条件宜符合下列规定,1.安装生产工艺设备前、洁净厂房净化空调系统应已连续正常运行48h,照明系统应已正常工作、且现场应有便捷电源供应,2,大型.特殊要求的生产设备。应按设计要求在净化空调系统安装前就位，可按本规范附录A进行。3,洁净室.包括风淋室.应已启用 并应建立洁净厂房设备安装管理操作规程,13、2。2，洁净室 区.内生产设备安装施工用辅助材料应符合下列规定.1、应为无尘,无锈.无油脂且在使用过程中不产尘的清洁材料.2,应以洁净,无尘的板材。薄膜等材料保护洁净室 区、的建筑装饰表面，3。设备垫板应按设计或设备技术文件要求制作，如无要求时可用不锈钢板或塑料板 4。制作独立基础和地板加固用的碳钢型材应经防腐处理。表面应平整,光滑,5.用于嵌缝的弹性密封材料应有注明成分.品种.出厂日期。储存有效期和施工方法的说明书及产品合格证书。13 2 3,洁净室 区 使用的机具不得搬至非洁净室、区、使用.非洁净室，区,使用机具不得搬至洁净室.区.使用、洁净区使用机具应符合下列规定、1.机具外露部分不应产尘或采取防止尘埃污染环境的措施。2 常用机具在搬入洁净区前应在气闸室进行清洁处理 应达到无油。无垢。无尘、无锈的要求 并应经检查合格贴上、洁净,或、洁净区专用、标识后搬入、13、2。4、设备特殊基础应符合下列规定。1 洁净室地面为活动地板时。基础宜设置在下技术夹层地坪上或混凝土多孔板上，2,钢制框架结构的独立基础应采用镀锌材料或不锈钢材料制作.外露表面应平整，光滑。3。安装基础所需拆除的活动地板，经手持电锯切割后的钢结构应予加固。其承载能力不应低于原承载能力,13 2,5、墙板。吊顶和活动地板开洞应符合下列规定，1.开洞作业不得划伤或污染需保留的墙板.吊顶板表面、活动地板开口后不能及时安装基础时、应设安全护栏并设危险标识.2。生产设备安装后 洞口四周间隙应进行密封处理.并应做到设备与密封组件为柔性接触,密封组件与壁板的连接应紧密。牢固 工作间一侧的密封面应平整,光滑。13,2 6，拆除包装应符合下列规定、1 设备开箱拆除外包装应在设备搬入平台上进行.并不得破坏内包装，2，设备的内包装应在气闸室前拆除.拆除前应先用吸尘器 洁净布清除内包装外表面的尘粒、13、2、7、生产设备从搬入平台经搬入口,气闸室至洁净室.区 的搬运应符合下列规定.1，对搬入设备的最大件无法通过预留的门洞时，可保护性拆除门或洁净室隔断。应在设备搬入后再恢复到原有状态,2。沿搬运路线的门框，墙角等处应设保护措施,3.在活动地板上搬运设备时、应敷设软塑料保护层和不锈钢板或铝合金板。4 当搬运重量超过活动地板的承载能力时 应根据现场实际情况采取加固措施，并应采用不产尘的材料，13,2 8，洁净室。区、内搬运生产工艺设备。宜采用搬运车或气垫搬运装置。搬运时应控制其行进速度不得大于1m,s 13,2 9.设备就位安装应符合下列规定 1 在自流坪地面安装设备时 应有地面保护措施，2 在活动地板上吊装设备时,应核对活动地板的允许荷载。当允许荷载不能满足起吊荷重时.应对活动地板进行加固.3、设备就位安装需开孔时 应采用真空吸尘接口或吸尘器吸除所产生的尘粒 直至吸尽孔内积存的尘粒、