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附录C 测试方法C、1.空气洁净度等级测试C,1。1,空气洁净度等级的测试宜采用粒子计数器,采样量应大于1L。min,测试粒径大于或等于0,5μm粒子时。宜采用光散射粒子计数器,测试粒径大于或等于0、1μm的粒子时。宜采用大流量激光粒子计数器,采样量应为28 3L。min.测试粒径小于0 1μm的超微粒子时,宜采用凝聚核激光粒子计数器,C.1。2 采样点的确定应符合下列规定.1,最少采样点应按下式计算,式中。NL.最少采样点、四舍五入取整数,A。洁净室 区,的面积。在水平单向流时 指与气流方向垂直的流动空气的截面积、以m2计、2 采样点应均匀分布于洁净室,区.的面积内 并应位于工作区高度.C。1、3,每次采样的最少采样量应符合下列规定,1 每个采样点的每次采样量。VS。应按下式计算,式中.Cnm,被测洁净室。区、空气洁净度等级被测粒径的允许限值。个.m3、20 在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时,可检测到的粒子数,2 每个采样点的采样量应至少为2L.采样时间应最少为1min.当洁净室 区 仅有1个采样点时,在该点应至少采样3次,当VS很大时,采样时间较长,宜采用顺序采样法,C.1、4.对于单向流洁净室 采样口应对着气流方向,对于非单向流洁净室 采样口宜向上,采样速度宜接近室内气流速度,C,1、5,室内测试人员应穿洁净服 不得超过3人,测试人员应位于测试点下风侧并远离测试点、并应保持静止、进行换点操作时动作应轻 应减少人员对室内洁净度的干扰、C.1 6,每个采样次数为2次或2次以上的采样点 应按下式计算平均粒子浓度 式中 Xi。采样点i的平均粒子浓度.i可代表任何位置。Xi1至Xin,每次采样的粒子浓度。n、在采样点i的采样次数、C,1 7、采样点为1个时,应按本规范式.C 1 6,计算该点平均粒子浓度,采样点为10个或10个以上时。应按本规范式,C.1,6,计算各点的平均浓度后,再按下式计算洁净室,区。总平均值 式中。X,各采样点平均值的总平均值、Xi1至Xim 按式。C,1。6.计算的各个采样点的平均值 即洁净室。区。总平均值。m 采样点的总数 C。1、8.置信上限。UCL,的计算应符合下列规定,1,当采样点只有1个或多于9个时 不计算95,置信上限。2。采样点为1个以上10个以下时.除应根据本规范式 C,1.7,计算各采样点的平均值和总平均值外。还应按下式计算总平均值的标准偏差.3 应按下式计算总平均值的95,置信上限 式中、t 分布系数,应按表C、1、8取值、表C,1,8.95,置信上限,UCL,的t分布系数.4。每个采样点测得粒子浓度的平均值X1以及洁净室总平均值95、置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值时、可认为该洁净室、区 已达到规定的空气洁净度等级 测试结果未能满足规定的空气洁净度等级时 宜增加均匀分布的新采样点进行测试,应对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算,其结果可作为最终检验结果,
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