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附录C。测试方法C,1。空气洁净度等级测试C,1。1。空气洁净度等级的测试宜采用粒子计数器。采样量应大于1L.min 测试粒径大于或等于0、5μm粒子时。宜采用光散射粒子计数器。测试粒径大于或等于0,1μm的粒子时,宜采用大流量激光粒子计数器 采样量应为28、3L.min.测试粒径小于0 1μm的超微粒子时,宜采用凝聚核激光粒子计数器,C、1、2 采样点的确定应符合下列规定,1 最少采样点应按下式计算。式中.NL 最少采样点、四舍五入取整数、A。洁净室 区。的面积。在水平单向流时,指与气流方向垂直的流动空气的截面积,以m2计。2 采样点应均匀分布于洁净室。区,的面积内。并应位于工作区高度,C、1。3.每次采样的最少采样量应符合下列规定、1、每个采样点的每次采样量.VS。应按下式计算.式中。Cnm,被测洁净室。区,空气洁净度等级被测粒径的允许限值.个,m3。20。在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时。可检测到的粒子数,2.每个采样点的采样量应至少为2L、采样时间应最少为1min。当洁净室 区,仅有1个采样点时。在该点应至少采样3次、当VS很大时 采样时间较长.宜采用顺序采样法。C。1、4.对于单向流洁净室,采样口应对着气流方向、对于非单向流洁净室。采样口宜向上 采样速度宜接近室内气流速度、C,1,5,室内测试人员应穿洁净服,不得超过3人、测试人员应位于测试点下风侧并远离测试点,并应保持静止.进行换点操作时动作应轻,应减少人员对室内洁净度的干扰、C、1、6 每个采样次数为2次或2次以上的采样点,应按下式计算平均粒子浓度 式中.Xi,采样点i的平均粒子浓度,i可代表任何位置.Xi1至Xin。每次采样的粒子浓度、n,在采样点i的采样次数。C 1 7 采样点为1个时 应按本规范式。C.1,6 计算该点平均粒子浓度、采样点为10个或10个以上时。应按本规范式.C.1 6。计算各点的平均浓度后、再按下式计算洁净室.区,总平均值,式中,X,各采样点平均值的总平均值.Xi1至Xim 按式。C.1。6,计算的各个采样点的平均值。即洁净室,区,总平均值,m,采样点的总数,C.1,8,置信上限,UCL,的计算应符合下列规定、1 当采样点只有1个或多于9个时,不计算95.置信上限、2,采样点为1个以上10个以下时,除应根据本规范式,C,1,7。计算各采样点的平均值和总平均值外,还应按下式计算总平均值的标准偏差、3.应按下式计算总平均值的95,置信上限,式中,t、分布系数 应按表C、1,8取值、表C 1。8 95、置信上限.UCL。的t分布系数,4,每个采样点测得粒子浓度的平均值X1以及洁净室总平均值95、置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值时,可认为该洁净室,区.已达到规定的空气洁净度等级。测试结果未能满足规定的空气洁净度等级时。宜增加均匀分布的新采样点进行测试。应对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算,其结果可作为最终检验结果、

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