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C、8.密闭性测试C 8 1 本节适用于确认有无被污染的空气从相邻洁净室。区 或非洁净室,区 通过吊顶,隔墙等表面或门 窗渗漏入洁净室、区,适用于1级至5级的洁净室 区.进行测试.可采用光度计法和粒子计数器法进行测试 C,8、2,采用粒子计数器法时,测量被评价表面的洁净室,区 外部的空气中悬浮粒子浓度 应大于洁净室 区、内的浓度104的倍数。并应至少大于或等于3 5.106.m3,其空气中悬浮粒子浓度不符合要求时,应添加气溶胶提高浓度.粒子计数器扫描时、仪器应距离洁净室.区。内待测试的接缝密封处或啮合面5cm,10cm,扫描速度应为5cm,s、对敞开的门廊处的测试 应在距离洁净室,区 内敞开的门0.3m、3,0m处检测空气中悬浮粒子浓度 C、8。3、采用光度计法,测量洁净室 区,内侧被评价表面的空气中悬浮粒子浓度,在光度计0.1,档的设定值时、光度计的读数超过0 01 即确认存在渗漏,并应做记录,

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