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C 8 密闭性测试C.8 1,本节适用于确认有无被污染的空气从相邻洁净室。区。或非洁净室.区,通过吊顶,隔墙等表面或门。窗渗漏入洁净室、区。适用于1级至5级的洁净室、区、进行测试。可采用光度计法和粒子计数器法进行测试,C,8、2 采用粒子计数器法时,测量被评价表面的洁净室 区.外部的空气中悬浮粒子浓度.应大于洁净室,区.内的浓度104的倍数、并应至少大于或等于3。5、106、m3,其空气中悬浮粒子浓度不符合要求时.应添加气溶胶提高浓度。粒子计数器扫描时、仪器应距离洁净室,区、内待测试的接缝密封处或啮合面5cm 10cm,扫描速度应为5cm。s,对敞开的门廊处的测试,应在距离洁净室 区、内敞开的门0、3m 3,0m处检测空气中悬浮粒子浓度,C、8,3。采用光度计法、测量洁净室.区,内侧被评价表面的空气中悬浮粒子浓度,在光度计0,1 档的设定值时,光度计的读数超过0,01.即确认存在渗漏 并应做记录,

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