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附录C,测试方法C.1。空气洁净度等级测试C。1、1.空气洁净度等级的测试宜采用粒子计数器、采样量应大于1L.min.测试粒径大于或等于0。5μm粒子时、宜采用光散射粒子计数器 测试粒径大于或等于0,1μm的粒子时。宜采用大流量激光粒子计数器.采样量应为28 3L。min,测试粒径小于0、1μm的超微粒子时。宜采用凝聚核激光粒子计数器,C.1、2.采样点的确定应符合下列规定,1,最少采样点应按下式计算,式中,NL.最少采样点 四舍五入取整数。A、洁净室 区.的面积,在水平单向流时 指与气流方向垂直的流动空气的截面积 以m2计 2,采样点应均匀分布于洁净室.区,的面积内,并应位于工作区高度。C、1。3。每次采样的最少采样量应符合下列规定、1、每个采样点的每次采样量、VS.应按下式计算.式中,Cnm。被测洁净室,区,空气洁净度等级被测粒径的允许限值 个 m3、20、在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时、可检测到的粒子数。2.每个采样点的采样量应至少为2L 采样时间应最少为1min.当洁净室 区,仅有1个采样点时,在该点应至少采样3次,当VS很大时、采样时间较长、宜采用顺序采样法,C。1,4。对于单向流洁净室 采样口应对着气流方向,对于非单向流洁净室,采样口宜向上,采样速度宜接近室内气流速度。C,1。5.室内测试人员应穿洁净服,不得超过3人 测试人员应位于测试点下风侧并远离测试点,并应保持静止、进行换点操作时动作应轻,应减少人员对室内洁净度的干扰,C,1.6 每个采样次数为2次或2次以上的采样点。应按下式计算平均粒子浓度。式中,Xi,采样点i的平均粒子浓度、i可代表任何位置,Xi1至Xin.每次采样的粒子浓度、n。在采样点i的采样次数。C。1 7 采样点为1个时.应按本规范式。C,1,6.计算该点平均粒子浓度,采样点为10个或10个以上时.应按本规范式 C,1.6,计算各点的平均浓度后、再按下式计算洁净室。区 总平均值。式中,X.各采样点平均值的总平均值.Xi1至Xim,按式。C 1、6,计算的各个采样点的平均值,即洁净室、区,总平均值.m、采样点的总数。C,1 8 置信上限.UCL,的计算应符合下列规定,1,当采样点只有1个或多于9个时、不计算95,置信上限 2、采样点为1个以上10个以下时,除应根据本规范式 C 1.7 计算各采样点的平均值和总平均值外.还应按下式计算总平均值的标准偏差.3,应按下式计算总平均值的95。置信上限.式中.t、分布系数 应按表C、1,8取值、表C,1,8。95,置信上限、UCL、的t分布系数.4。每个采样点测得粒子浓度的平均值X1以及洁净室总平均值95、置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值时,可认为该洁净室,区、已达到规定的空气洁净度等级.测试结果未能满足规定的空气洁净度等级时,宜增加均匀分布的新采样点进行测试,应对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算。其结果可作为最终检验结果、

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