附录C 测试方法C,1,空气洁净度等级测试C.1、1 空气洁净度等级的测试宜采用粒子计数器、采样量应大于1L。min、测试粒径大于或等于0。5μm粒子时,宜采用光散射粒子计数器.测试粒径大于或等于0.1μm的粒子时.宜采用大流量激光粒子计数器,采样量应为28.3L,min.测试粒径小于0、1μm的超微粒子时,宜采用凝聚核激光粒子计数器、C。1 2 采样点的确定应符合下列规定 1、最少采样点应按下式计算、式中.NL,最少采样点 四舍五入取整数、A 洁净室.区、的面积、在水平单向流时.指与气流方向垂直的流动空气的截面积。以m2计。2 采样点应均匀分布于洁净室,区,的面积内.并应位于工作区高度,C、1,3。每次采样的最少采样量应符合下列规定。1。每个采样点的每次采样量、VS。应按下式计算,式中,Cnm。被测洁净室,区,空气洁净度等级被测粒径的允许限值、个,m3.20、在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时 可检测到的粒子数。2,每个采样点的采样量应至少为2L 采样时间应最少为1min、当洁净室.区。仅有1个采样点时 在该点应至少采样3次、当VS很大时、采样时间较长、宜采用顺序采样法,C。1.4。对于单向流洁净室.采样口应对着气流方向。对于非单向流洁净室,采样口宜向上。采样速度宜接近室内气流速度,C.1,5.室内测试人员应穿洁净服 不得超过3人。测试人员应位于测试点下风侧并远离测试点、并应保持静止.进行换点操作时动作应轻.应减少人员对室内洁净度的干扰。C,1,6.每个采样次数为2次或2次以上的采样点.应按下式计算平均粒子浓度.式中 Xi,采样点i的平均粒子浓度。i可代表任何位置.Xi1至Xin,每次采样的粒子浓度,n。在采样点i的采样次数,C,1,7,采样点为1个时 应按本规范式 C,1 6、计算该点平均粒子浓度,采样点为10个或10个以上时.应按本规范式 C,1,6.计算各点的平均浓度后、再按下式计算洁净室。区、总平均值 式中,X.各采样点平均值的总平均值、Xi1至Xim,按式、C。1、6、计算的各个采样点的平均值、即洁净室。区,总平均值.m、采样点的总数,C,1。8,置信上限,UCL、的计算应符合下列规定。1 当采样点只有1个或多于9个时,不计算95、置信上限,2。采样点为1个以上10个以下时,除应根据本规范式.C.1,7,计算各采样点的平均值和总平均值外,还应按下式计算总平均值的标准偏差,3、应按下式计算总平均值的95,置信上限,式中、t、分布系数,应按表C、1 8取值,表C。1、8、95,置信上限.UCL 的t分布系数 4 每个采样点测得粒子浓度的平均值X1以及洁净室总平均值95 置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值时,可认为该洁净室.区,已达到规定的空气洁净度等级,测试结果未能满足规定的空气洁净度等级时 宜增加均匀分布的新采样点进行测试 应对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算、其结果可作为最终检验结果。