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C、15,静电测试C。15、1,洁净室.区。内的地面、墙面和工作台面等的表面导静电性能的测试,应根据生产工艺要求确定,宜采用高阻计进行测试。C。15。2 在相关表面的导静电测试表面上采用图C.15,2所示的测试装置进行表面电阻和泄漏电阻的测量,圆柱形铜电极的直径应为60mm、质量应为2、0kg 2个铜电极之间的距离应大于或等于900mm,图C、15.2.表面导静电性能测试装置1 高阻计,2 被测表面。3。圆柱形铜电极.4 湿滤纸垫

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