C,14，微振测试C，14 1，洁净厂房中需要微振控制的精密设备仪器或房间,区域、应进行微振控制设施的建造质量检测.检测宜采用微振测试分析系统进行测试。可包括微振动传感器，专用仪器和计算机分析系统等。C,14，2 微振测试应按下列规定分阶段进行。1 洁净厂房建设场地的环境振动测试。应提供振动设计的本底数据。2,建筑结构振动特性测试.应在结构工程施工完成后 按微振控制设计要求进行测试 校核结构建造质量.3,精密设备仪器安装地点的环境振动测试、应在洁净厂房中各种公用动力设备安装并试运转后,应按洁净厂房中除生产工艺设备外的所有设施 设备均已正常运转后进行精密设备仪器安装地点的环境振动测试、以最终校核,确定精密设备仪器和相关设施的微振控制措施、4 精密设备仪器的微振最终测试、应在此类设备试运转后,并应按生产工艺要求的状态进行最终测试。检查微振控制设施的整体建造质量，