12、2。生产工艺12，2，1 还原炉应选用高效率 低能耗的炉型。12,2 2,多晶硅生产应采用先进的精馏技术.并应将多晶硅生产各工序进行物料平衡和能量平衡计算、应确定能耗低 经济性好，竞争力强的工艺流程。12 2、3，多晶硅生产应优化工艺，采暖,通风，空调参数及换热网络、应实现各种能量的梯级利用,12 2。4,多晶硅工厂应利用多晶硅生产过程中的副产物，12 2，5 多晶硅工厂必须同步设计余热利用系统，还原炉和氢化反应的余热回收应用于提纯精馏塔再沸器的加热，且余热利用系统不应影响多晶硅正常生产，不应提高多晶硅能耗或降低产量.12，2.6、多晶硅生产过程应选用节水 节能型产品，并应符合现行国家标准。节水型产品通用技术条件、GB,T,18870的有关规定。12,2、7，设备和管道应选用保温性能良好的绝热材料，保温设计应符合现行国家标准、工业设备及管道绝热工程设计规范。GB 50264的有关规定、12，2 8。各装置以及重要设备宜设置计量和检测仪表,并宜设置调节控制装置。以满足全厂和各个系统单独计量考核的要求.12,2 9，多晶硅工厂宜设置循环水系统。高纯水系统、脱盐水系统产生的洁净废水的回收和再利用设施,