10。3，空气调节与净化10 3 2 本条主要是从安全 节能.环保及便于运行管理等方面考虑的.10。3，3 本条中空气洁净度等级及送风量主要依据现行国家标准。洁净厂房设计规范、GB 50073，洁净室送风量、静态.和气流流型见表1、表1.洁净室送风量。静态,和气流流型、表1中换气次数适用于层高小于4,0m的洁净室、室内人员少.热源少时.宜采用下限值。根据国内现有多晶硅生产厂房的实际情况制订的。三级过滤,就是将粗，中.高效过滤段全部设在净化空调机组内.用风管将净化的空气直接送入洁净室或房间.不再设高效过滤器送风口,这种空气净化形式可以满足多晶硅厂房部分工艺生产的要求.减少投资 运行管理方便，这里规定还原炉室的送风换气次数 主要是对应还原炉室的排风量不得小于6次.h的换气次数。10、3 4。本条是强制性条文 关于洁净室新鲜空气量的问题,现行国家标准。工业企业设计卫生标准.GBZ 1和、采暖通风与空气调节设计规范 GB,50019都对空调房间人员所需最小新风量作了强制规定。工业建筑应保证每人不小于30m3,h的新风量.现行国家标准、洁净厂房设计规范，GB，50073规定。保证供给洁净室每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。因此本规定对洁净区和非洁净区的新风量采用了不同标准。以保障人身安全.10，3.5 集中送风、是指净化空调机组设在空调机房，空气经过过滤、加热、制冷。加湿等集中处理之后，由风管送入洁净室。风机过滤机组、是指由风机和高效过滤单元组成的机组,多晶硅厂房净化空调系统。一般洁净等级在6级以下时.采用集中送风形式。洁净等级在5级以上.包括5级,时.采用集中送风加风机过滤机组的形式。10,3，6，本条是强制性条文。对洁净室压差控制作出规定，为了保证洁净室在正常工作或空气平衡暂时受到破坏时。气流能从空气洁净度高的区域流向空气洁净度低的区域，而且洁净室的洁净度不受污染空气的干扰 所以洁净室与周围环境应保持一定的压差。10,3.7。本条是保证洁净室压差控制的措施.10，3.8。本条对洁净室噪声级提出要求，空态，是指洁净室设施已经建成,所有动力接通并运行、但无生产设备.材料及人员的阶段、10.3。9.本条是强制性条文，还原车间生产使用氢气。火灾危险性分类为甲类 现行国家标准,采暖通风与空气调节设计规范.GB 50019相关条文强制规定。甲、乙类生产厂房不应使用循环空气 以保障人身安全。10。3,10。腐蚀清洗室，配件清洗室.硅棒破碎室空气洁净度分别为7级以上 8级、7级.工艺生产有酸性腐蚀性气体或有粉尘。局部排风不能完全排除酸气及粉尘 这样净化空调系统就不应回风,10,3、11、本条是洁净厂房设置多套净化空调系统。新风集中处理的时候对新房机组功能的要求 主要是为了安全和节能。10 3、12、空气过滤器分类。性能指标参照了现行国家标准、空气过滤器,GB.T,14295和 高效空气过滤器.GB T.13554的规定。在多晶硅厂房设计中，一般常用的过滤器有粗效过滤器，中效过滤器、亚高效过滤器,高效过滤器，过滤器的额定风量是过滤器在一定的过滤风速下。其效率和阻力最合理时的风量,如果大于额定风量 过滤器阻力增大.导致系统阻力增加 对于高效过滤器 风速过大有可能吹破滤纸。中效过滤器集中设置在净化空调机组的正压段，主要是考虑到机组的负压段向内漏风，影响过滤效果.一般有洁净等级的洁净室。高效过滤器宜设在空调系统末端.对于三级过滤净化空调。高效过滤器可设在净化空调机组内中效过滤器后的正压段上、10、3、14。在净化空调系统中 空气过滤器的阻力占空调系统总阻力的比例很大。空气过滤器的阻力会随着容尘量的增多而增加,使系统的风量减少，因此在计算系统阻力时应按过滤器的终阻力计算 系统初运行时、过滤器初阻力较小，系统阻力低、风机采用变频装置可以调节风量。达到节能目的、