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- 多晶硅工厂设计规范 GB 51034-2014
- 条文说明
- 1 总 则
- 2 术 语
- 3 基本规定
- 4 厂址选择及厂区规划
- 5 工艺设计
- 5.1 一般规定
- 5.2 三氯氢硅合成和四氯化硅氢化
- 5.3 氯硅烷提纯
- 5.4 三氯氢硅氢还原
- 5.3 氯硅烷提纯
- 5.6 硅芯制备及多晶硅产品后处理
- 5.7 分析检测
- 6 电气及自动化
- 7 辅助设施
- 8 建筑结构
- 9 给水、排水和消防
- 10 采暖、通风与空气调节
- 11 环境保护、安全和卫生
- 12 节能、余热回收
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5、6 硅芯制备及多晶硅产品后处理5.6 4 本条第1款和第7款的规定主要是为了防止运输路径和环境对硅料的二次污染，第2款和第4款的规定是为了防止与硅料接触的工具对硅料造成二次污染.5.6、5.多晶硅的酸腐蚀主要采用氢氟酸和硝酸的混酸 具有强腐蚀性，供酸室不应与腐蚀清洗室设置在一起、本条第3款规定了供酸室与腐蚀清洗室分开布置、但布置时应兼顾供酸管道的距离和位置 输送距离远。输送管过长,输送线路不安全,
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