9。3,废水处理9、3、1.处理后废水应优先回用至尾气淋洗工艺,多余部分外排，9,3、2.多晶硅工厂产生的生产废水主要为尾气淋洗废液。废液处理设施尽量与尾气淋洗设施就近设置，同时考虑处理用药剂及产生污泥的运输、9，3，4、本条是强制性条文、硅料清洗产生的含氟废酸氟含量偏高。腐蚀性强.在处理时应采取措施防止液体泄漏及氢氟酸挥发至大气中，造成污染，故应单独处理,同时单独处理含氟废酸 可减少处理药剂用量.保证整个工厂处理排水最终达标排放、此部分废液可先单独预处理后再与其他生产废水混合处理,9。3、5。废水调节池 尾气淋洗水解池等泄漏时，会对地下水造成污染.宜在地下水下游设置1处检测点 监测地下水酸碱度,pH值.氯 氟及溶解盐等污染物的含量、