10,3、空气调节与净化10。3.1。厂房空气洁净度等级 温度 湿度的设计应满足生产工艺要求,10，3 2，存在下列情况之一时.空调系统应分开设置 1。净化空调系统与一般空调系统，2，空气中含有易燃、易爆物质、3,容易产生交叉污染、对其他工序的产品质量造成影响.4 对温.湿度控制要求差别大,5。工艺设备散热量相差悬殊，10,3、3。保证空气洁净度等级的送风量应符合下列规定 1，5级。8级洁净室送风量应符合现行国家标准、洁净厂房设计规范 GB,50073的有关规定，2,生产太阳能级多晶硅的还原炉室 当空调系统为三级过滤时.其送风量应按换气次数大于或等于6次,h计算 10,3.4.空调系统新风量应取下列两项中的较大值，1。补偿室内排风量和保持室内正压值所需新风量之和,2 保证供给室内每人每小时的新风量。洁净区不应小于40m3。非洁净区不应小于30m3。10。3,5。洁净室送风可采用集中送风或风机过滤机组送风的方式 10,3,6。洁净室与周围区域的压差应符合下列规定，1、不同等级的洁净区之间的压差不应小于5Pa 2。洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa 3，洁净区与室外的压差不应小于10Pa.10。3、7 洁净空调送风,回风和排风系统的启闭应连锁 正压洁净室连锁程序应为先启动送风机，再启动回风机和排风机、关闭时连锁程序应相反。10,3、8.单向流和混合流洁净室的空态噪声级不应大于65dB，A,非单向流洁净室的空态噪声级不应大于60dB.A 10，3,9，还原车间应独立设置直流空调送风系统,不应回风、10,3。10.腐蚀清洗室 硅棒破碎室 配件清洗室的空调送风系统不宜回风。10、3.11、洁净空气调节系统的新风集中处理时。新风处理机组应符合下列规定、1,新风应经过粗效过滤器处理,2 严寒地区新风应先预热。3，送风机宜采取变频措施,10 3。12、空气过滤器选用，布置应符合下列规定,1 空气净化处理应根据空气洁净度等级选用过滤器.2，空气过滤器处理风量不应大于额定风量、3,中效.高中效，空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段，4、亚高效和高效过滤器宜设置在净化空调系统的末端、10 3、13，风机过滤机组的设置应符合下列规定 1。应根据空气洁净度等级和送风量选用 2,送风量应能调节.3.应便于安装。维修及过滤器更换.10、3 14，净化空调系统的送风机宜采用变频装置。