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- 多晶硅工厂设计规范 GB 51034-2014
- 条文说明
- 1 总 则
- 2 术 语
- 3 基本规定
- 4 厂址选择及厂区规划
- 5 工艺设计
- 6 电气及自动化
- 7 辅助设施
- 7.1 压缩空气站
- 7.2 制 氮 站
- 7.3 制 氢 站
- 7.4 导 热 油
- 7.5 纯水制备
- 7.6 制 冷
- 7.7 蒸 汽
- 8 建筑结构
- 9 给水、排水和消防
- 10 采暖、通风与空气调节
- 11 环境保护、安全和卫生
- 12 节能、余热回收
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7。4。导 热。油7,4。2。多晶硅生产系统中三氯氢硅氢还原 还原尾气干法回收.氯硅烷提纯,三氯氢硅生产等工序都有可能选择导热油作为热源.当多个生产工序选择导热油为热源时。为减少导热油输送过程中的热量损失,导热油加热系统应靠近热量需求较大的主要负荷区.
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