5。工艺设计5、1，一般规定5、1。1 三氯氢硅氢还原法多晶硅生产工艺主要由还原，提纯 干法回收和三氯氢硅生产四大主工艺系统组成。工艺流程见图1、图1.三氯氢硅氢还原生产工艺流程简图,多晶硅行业近年来发展迅速，其生产工艺和设备装备水平较以前均有大幅度提升,每个主工艺都有几种工艺方案选择,为提高建设质量以及整个行业的技术水平，本条对工艺流程的设计和工艺设备的选型进行了规定 1，多晶硅工厂主要的能源消耗是电力和蒸汽、由此产生的成本超过了多晶硅成本的一半。不同的产品方案决定了不同的精馏提纯流程和工艺.不同的建设规模和能源价格决定了不同的氢化工艺,不同的建设规模，能源价格和投资资金决定了还原炉等主要设备选型的经济性。2、3。国家大力提倡循环经济发展模式、以建设资源节约型。环境友好型的美丽社会为目标 因此工厂建设中应做到安全可靠。环保节能、技术先进,经济合理,5,多晶硅生产是个较为复杂的系统工程，每个主工序的生产特点均有不同。如还原过程的一次转化率低,只有10.左右。大量三氯氢硅和副产物以尾气的形式进入干法回收系统。干法回收应具备吸纳不同气量.不同组分还原尾气的能力.各个主工序之间生产能力应有合理匹配和综合平衡,5。1，5。现行国家标准 多晶硅企业单位产品能源消耗限额，GB,29447中对多晶硅各生产单元的工艺电耗 蒸汽消耗。综合电耗以及综合能耗分别给出了限定值。准入值、先进值的要求,新建项目至少达到限额准入值标准 本条规定各生产单元的蒸汽,电力及综合能耗不大于限额准入值。并达到先进值,目的是节约资源能源 5,1。8,多晶硅生产过程伴有氢气 三氯氢硅,二氯二氢硅 四氯化硅.氯化氢等危险化学品,对于输送易燃。易爆.有毒、有腐蚀性物料的设备和管道应考虑其使用的安全性。防止泄漏，