1，总、则1、0,1,为规范多晶硅工厂的工程设计 提高工程设计质量，做到技术先进 经济合理.安全可靠 环保节能。制定本规范，1。0，2 本规范适用于采用三氯氢硅氢还原法的新建，扩建和改建多晶硅工厂的工程设计,也适用于硅烷歧化法多晶硅厂中三氯氢硅合成。四氯化硅氢化和氯硅烷提纯的工程设计。1.0.3,多晶硅工厂设计应积极采用节能,环保 高效.先进的装备和工艺 提高资源.能源利用率、实现物料，能源综合利用和清洁生产，1，0.4，多晶硅工厂设计除应符合本规范外 尚应符合国家现行有关标准的规定,