5、7，分析检测5 7 1 多晶硅工厂应设置单独的分析检测室,并宜在四氯化硅氢化、还原尾气干法回收.三废处理站等装置区内设置在线分析装置、5.7,2 分析检测室不应与甲,乙类房间布置在同一防火分区内、可独立设置于一侧，5。7，3,分析检测应包括下列内容.1、氯硅烷的含量 杂质、含碳化合物分析，2.硅粉的含量,杂质。粒度、碳含量分析.3.液氩中氧，氮含量分析。4 液氮中氧含量的分析，氮气中氢含量 氧含量和露点分析，5 氢气中氧含量。氮含量、氯硅烷含量，露点分析,6,水中氯离子、Cl，氟离子。F,化学含氧量，COD，生化需氧量。BOD。酸碱度。pH值,硬度.全碱度 悬浮物。总磷 正磷分析,7,大气中氯化氢。氟化物 氮氧化物分析、8。多晶硅质量指标分析。指标分析包括多晶硅的导电类型,电阻率。少子寿命，氧含量,碳含量.表面金属杂质含量,体金属杂质含量的分析。9，合成原料氯化氢的纯度分析 10、液氯中三氯化氮.水含量分析.5.7,4。分析检测室中除化学分析外,其他分析检测室应设置在洁净区，