5、2,三氯氢硅合成和四氯化硅氢化5。2。1、目前国内多晶硅企业有的自建合成装置.有的靠市场供应补充。有的调整生产工艺将氢化和合成工序合二为一、因此各个企业应根据各自情况来决定采用何种方式补充三氯氢硅 5、2 4,三氯氢硅合成的反应气体中含有粉尘、金属氯化物等杂质.这些物质有可能堵塞设备和管道。影响生产系统的运行，造成停车等问题、因此需要采取合适的除尘工艺除去该类物质，减少系统阻塞的可能性。保证较长的运行时间 减少停车检修时间.5，2.7。目前国内主流的四氯化硅处理方式为高温氢化，冷氢化。各有优缺点。高温氢化工艺单位产品耗电量高，冷氢化工艺虽然单位产品耗电量低,但是会引入新杂质。与之配套的精馏提纯工艺较为复杂,蒸汽消耗量较高，所以各个企业应根据各自情况综合比较后再决定采用何种氢化工艺.5 2，9，为保证冷氢化工序生产连续长期运行、应定期排放固体含量很高的残液，防止其堵塞管道和设备,由于残液中含有硅粉、金属氯化物等物质、不适合长距离输送.而残液需要回收有用组分,避免造成环境污染。因此冷氢化装置应配套残液回收装置.且就近配置.5,2.11，对于输送易燃。易爆 有毒,有腐蚀性物料的设备应考虑其使用的安全性。防止泄漏。