6 2 自 动.化6、2。1、对本条第2款的说明如下、分散型控制系统,DCS、安全仪表系统 SIS。安全栅属于关联设备,为方便现场安装，调试，开车 统一由分散型控制系统.DCS.供应商提供并承担相关责任和服务、以避免中间环节的推诿.扯皮现象,6，2 2 对本条第3款第4项的说明如下、还原炉硅芯.棒、内,中,外均采用高温双色红外测温仪，是由于被测硅芯较细，且还原炉的视镜易受到污染、影响测量精度,而采用双色红外测温仪则能够更好地消除干扰，保证测量精度要求。6.2。3、对本条第3款第2项的说明如下。对于测量氯硅烷介质的仪表，宜采用隔膜式压力表、法兰安装,目的是防止氯硅烷类介质水解后堵塞仪表导压管道,同时起到防腐作用 对本条第4款第2项的说明如下 一般的压力表和压力变送器是指本行业内常用的工艺接口尺寸在M20、1.5或1 2.60度锥管螺纹,NPT 的一类压力仪表类型,6，2。4 有关流量仪表的选型要求说明如下，2 多晶硅工厂中使用的脱盐水及超纯水介电常数非常低,使用电磁流量计会测量不准、4,由于还原炉内硅棒数量多，工艺要求三氯氢硅及氢气流量变化范围大且要求进料量精度高.为确保全量程下的自动化控制.则宜选用大量程仪表、并带有温。压补偿功能。以保证多晶硅产品的质量要求和连续化自动控制,由于还原炉进料过程中压力不高、氢气密度低,科氏力质量流量计测量氢气流量必然会严重缩径 按照现行国家标准.氢气站设计规范、GB，50177的有关规定。在氢气设计压力为0、1MPa,3，0MPa时,氢气在碳钢管道中的流速小于15m s 在不锈钢管道中的流速小于25m,s 因此，在仪表设计中,应避免氢气高流速的现象产生.以免造成测量仪表误差及损坏管道。甚至发生爆炸危险，5、在工艺管道和设备产生泄漏的情况下，氯硅烷介质极易发生水解现象 并产生自聚物堵塞管道或设备.所以一般使用容积式流量计。6 2,8 大部分装置中都存在有毒,可燃性气体，因此应符合现行国家标准。石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计规范.GB、50493中的相关要求.建立一套独立设置的报警、联锁系统、以保证装置生产安全、正常的运行，3,本款是强制性条款、通常情况下,工艺装置或储运设施的控制室，现场操作室是操作人员常驻和能够采取措施的场所 现场发生可燃气体和有毒气体泄漏事故时,报警信号必须使现场报警器报警 提示现场操作人员采取措施,同时 报警信号发送至有人值守的控制室,现场操作室的指示报警设备进行报警.以便控制室。现场操作室的操作人及时采取措施.6。2 9、在线分析仪表宜采用气相色谱仪，是为了更好地分析原料。中间产品。最终产品的品质是否达到有关的质量标准。其中的有关要求是针对多晶硅介质的特性提出的。用以保证分析仪表设备的正常运行 6。2。11.本条第3款所述的压力值为表压.本规范中所有气体压力值均为表压,