4、2.洁净室型式4,2、1 洁净室可根据电子产品生产工艺特点。空气洁净度等级和布置要求分为隧道式、开放式和微环境等。也可按气流流型分为单向流洁净室 非单向流洁净室和混合流洁净室 4,2。2,电子工业洁净厂房垂直单向流洁净室的空间,应包括活动地板以下的下技术夹层、洁净生产层和吊顶以上的上技术夹层,4 2.3、洁净室型式的选择应综合生产工艺要求 节约能源 减少投资和降低运行费用等因素确定、各种空气洁净度等级的电子工业洁净厂房宜采用混合流洁净室。对空气洁净度净度要求严格时 宜采用微环境等型式。

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