15，3、微振动控制设计15，3.1,洁净厂房的微振动控制设计、应按下列阶段进行微振动测试分析、1.场地环境振动测试及分析。2。洁净厂房建筑结构振动特性测试及分析、3 精密设备,仪器安装地点环境振动测试及分析、4.微振动控制的最终测试及分析 15 3。2.有微振动控制要求的洁净室、区，其建筑结构的微振动控制设计.应符合下列规定.1、建筑物基础宜置于动力性能良好的地基土上,且基础应有足够刚度.2 应设置独立的建筑结构微振动控制体系 并应与厂房主体结构分隔，3.主体结构应根据微振动控制的要求 适当加大梁.柱 墙.基础等截面尺寸.15.3 3，有强烈振动的设备和管道，宜采取主动隔振措施,并应符合下列要求,1.宜采用隔振台，座、2。应选用刚度适当的隔振器、3,通往洁净室、区。的管道。宜采取隔振支 吊,架。柔性连接等隔振措施 15.3、4,洁净室内精密设备、仪器的被动隔振措施的设计.应符合下列要求，1 隔振台 座,应具有足够的刚度、2，应采用低刚度隔振设施。3,隔振系统各向阻尼比不应小于0.15。4 隔振台 座.应采取倾斜校正措施 5，隔振设施不应影响气流流型、6 当采用空气弹簧隔振器时,其供气系统应进行净化处理 并应达到洁净室空气洁净度等级的要求.