15.3 微振动控制设计15，3。1，洁净厂房的微振动控制设计、应按下列阶段进行微振动测试分析 1,场地环境振动测试及分析，2 洁净厂房建筑结构振动特性测试及分析 3、精密设备,仪器安装地点环境振动测试及分析 4、微振动控制的最终测试及分析 15 3、2.有微振动控制要求的洁净室,区。其建筑结构的微振动控制设计 应符合下列规定,1 建筑物基础宜置于动力性能良好的地基土上。且基础应有足够刚度。2 应设置独立的建筑结构微振动控制体系、并应与厂房主体结构分隔,3 主体结构应根据微振动控制的要求.适当加大梁.柱、墙。基础等截面尺寸、15,3.3。有强烈振动的设备和管道、宜采取主动隔振措施、并应符合下列要求、1。宜采用隔振台。座,2、应选用刚度适当的隔振器。3，通往洁净室 区，的管道。宜采取隔振支。吊。架、柔性连接等隔振措施、15。3、4、洁净室内精密设备.仪器的被动隔振措施的设计 应符合下列要求。1 隔振台。座,应具有足够的刚度，2，应采用低刚度隔振设施。3,隔振系统各向阻尼比不应小于0、15。4、隔振台。座、应采取倾斜校正措施 5 隔振设施不应影响气流流型。6 当采用空气弹簧隔振器时、其供气系统应进行净化处理,并应达到洁净室空气洁净度等级的要求,