15,3。微振动控制设计15。3 1,洁净厂房的微振动控制设计，应按下列阶段进行微振动测试分析、1。场地环境振动测试及分析.2，洁净厂房建筑结构振动特性测试及分析.3.精密设备 仪器安装地点环境振动测试及分析，4，微振动控制的最终测试及分析、15，3 2、有微振动控制要求的洁净室。区 其建筑结构的微振动控制设计、应符合下列规定，1,建筑物基础宜置于动力性能良好的地基土上,且基础应有足够刚度、2，应设置独立的建筑结构微振动控制体系，并应与厂房主体结构分隔,3，主体结构应根据微振动控制的要求 适当加大梁。柱、墙 基础等截面尺寸.15、3。3,有强烈振动的设备和管道,宜采取主动隔振措施，并应符合下列要求,1,宜采用隔振台。座,2、应选用刚度适当的隔振器，3，通往洁净室，区,的管道.宜采取隔振支，吊.架 柔性连接等隔振措施,15，3。4、洁净室内精密设备。仪器的被动隔振措施的设计、应符合下列要求。1 隔振台。座。应具有足够的刚度。2.应采用低刚度隔振设施，3 隔振系统各向阻尼比不应小于0,15 4.隔振台，座。应采取倾斜校正措施、5，隔振设施不应影响气流流型。6、当采用空气弹簧隔振器时.其供气系统应进行净化处理，并应达到洁净室空气洁净度等级的要求。