8.2 给。水8,2.1、电子工业洁净厂房内的生产工艺一般为精细或超精细加工,对水质。水温,水压等的要求都较为严格.水质 水温。水压等的变化可能会导致次品或工艺设备故障,因此.应根据不同的工艺要求设置独立给水系统 常见的系统有。纯水或超纯水系统.工艺循环冷却水系统.一般工业给水系统.热。温,纯水系统等,对上述给水系统的补充水可从洁净厂房中的生活给水系统供给.8,2.2.电子工业半导体、液晶显示器等电子产品生产工艺中往往会使用大量的危险化学品 为此 在厂房.车间、设有危险化学品储存和分配系统,考虑到操作和维护人员的安全 应在这些地方设置紧急淋浴器和洗眼器,环行设置紧急淋浴器和洗眼器的供水管路,是为了提高供水的可靠性.确保在任何时刻都有水供应 8.2.3,本条是为了确保电子产品生产工艺用水的水质.水压。水温作出的相应规定,1。给水系统管材选用.首先、要保证该管材不会使所输送的水水质发生变化、即要求该管材具有良好的耐腐蚀性和良好的抗溶出性,其次、要确保该管材的允许工作压力大于系统的工作压力、2.由于半导体制造.液晶显示器生产等电子工业洁净厂房往往有较严格的微振控制要求,所以这类厂房的首层底板经常加厚,有时达到600、800mm.埋设在这些底板下的给水管道。维修和更换是较困难的,因此、埋地给水管一方面要按水的性质确定管内壁的耐腐蚀性 另一方面要按地下水及土壤的条件确定管外壁的耐腐蚀性,需要注意的是,镀锌层是防锈层而不是防腐层。所以埋地镀锌管必须做防腐处理、在进行洁净室的给水排水设计时、应尽量避免埋地管道 3。电子工业生产设备的冷却水,一般对电导率。TOC,pH值等提出要求,为确保生产设备循环冷却水的水质,给水管和回水管采用不锈钢管 钢塑管和塑料管是合适的。焊接钢管由于其耐腐蚀性差、容易产生锈蚀、故不宜使用在对电导率 TOC,pH值等有要求的场合.4 阀门及配件要求与管材一致 主要是为了保证供水水质.

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