15.微振控制15.1,一般规定15 1。1,洁净厂房的微振控制设施的设计应分阶段进行。应包括设计、施工和投产等各阶段的微振动测试.厂房建筑结构微振控制设计,动力设备隔振设计和精密仪器设备隔振设计等、15 1。2,设计有微振控制要求的洁净厂房时 应符合下列规定.1.总平面布置时、应核实相邻厂房、建筑物或构筑物对精密设备。仪器的振动影响,2.设有精密设备,仪器的洁净厂房。其建筑基础构造,结构选型 隔振缝的设置、洁净室装修等应按微振控制要求设计.3,对设有精密设备,仪器的洁净室、区,有振动影响的动力设备及其管道。应采取主动隔振措施。4,洁净室 区 内精密设备,仪器。经测试确认受到周围振动影响时、应采取被动隔振措施。

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