15,微振控制15、1,一般规定15。1,1，洁净厂房的微振控制设施的设计应分阶段进行，应包括设计.施工和投产等各阶段的微振动测试.厂房建筑结构微振控制设计，动力设备隔振设计和精密仪器设备隔振设计等，15.1。2 设计有微振控制要求的洁净厂房时、应符合下列规定,1、总平面布置时、应核实相邻厂房、建筑物或构筑物对精密设备,仪器的振动影响.2 设有精密设备,仪器的洁净厂房，其建筑基础构造,结构选型 隔振缝的设置.洁净室装修等应按微振控制要求设计，3。对设有精密设备、仪器的洁净室 区,有振动影响的动力设备及其管道。应采取主动隔振措施 4 洁净室，区,内精密设备.仪器,经测试确认受到周围振动影响时。应采取被动隔振措施,