7，5。采暖。通风7、5、1.为使洁净室 区 内严格做到不产生或少产生尘粒，不滞留或少滞留尘粒。若洁净室。1X,需设置采暖设施时，不应采用散热器采暖、据调查了解 目前电子产品生产用洁净室、区,内大多不采用散热器采暖,为此本条作了严格规定。并为强制性条文，7、5.2 为确保局部排风系统的安全.稳定运行,电子工业洁净厂房内局部排风系统单独设置的要求。应符合现行国家标准,洁净厂房设计规范，GB 50073。2001中第6 5,3条规定，7。5。3 一些电子工业洁净厂房内使用各类品种，一定数量的可燃 易爆和有毒物质、其中以集成电路芯片制造工厂为最多，为确保电子产品生产的安全。可靠运行、通常在使用这些物质的生产设备均设有局部排风系统、在芯片制造用洁净厂房中的可燃、有毒或有害物质主要有，酸碱类、HF.HCl,H2SO4,HN03。NH3等，有机类，IPA,异丙醇.CHCl3.NBA、HMDS，丙酮等、特种气体、AsH3.SiH4.PH3，B2H6 HCl,NF3。WF6。SiHCl3.CF4,SF6，N20等 这些物质大部分对人类生存环境具有巨大的危害性。为此,电子工业洁净厂房设计中必须采取必要的技术措施，将危害性减少到最小 同时。还应采取技术措施 防止这些物质的排气系统对所在厂房的安全 卫生造成威胁或危害,本条的各项要求以此为出发点作出相应的规定,现对一些规定说明如下。1、排气系统中,含有水蒸气或凝结物质时，若不能排除系统中的凝结液、将使排气系统不能正常运行或造成安全事故或影响洁净室 区.的空气洁净度,为此本条规定 此类排风系统应设坡度及排放口、以便及时排出凝结物质.2.排气介质中含有剧毒物质时、该排风系统在运行过程中是不能停止运转的。一旦停机。将对洁净室工作人员和洁净厂房周围环境带来致命的或巨大的危害 为此本条规定、此类排风系统的排风机和处理设备应设备用 并设置应急电源、排风介质中含易燃.易爆等危险物质或工艺可靠性要求较高时。为确保安全运行,排风系统也不能停止运转，为此本条规定.此类系统的排风机应设备用。并应设应急电源 3，现将美国消防协会,NFPA,的NFPA。318、洁净室消防标准 中的相关条文摘录如下。供参考.第3.5、1条，排风系统必须设有自动应急电源,第3。5。2条.应急电源工作时。必须达到不低于排气系统50、的容量，第8 8节。使用可燃或易燃化学品的设备，必须具有可燃或易燃气体或蒸气浓度降低至爆炸下限20 以下的排气系统,7,5，4 为了避免含有毒性,爆炸危险性物质的排气管路向沿程或路由区域泄漏，形成安全事故的发生 本条规定,此类排气管路内压力应低于路由区域内的压力。即保持一定的负压值，美国消防协会的NFPA。318、洁净室消防标准，中第3.2 3条规定.含有有毒化学物质的排气系统压力,必须低于通过建筑区域的正常压力.7。5。6、制定本条的主要依据有，1，按现行国家标准、采暖通风与空气调节设计规范、GB50019.2003中第5 4,3条制定本条第1款规定，2 根据现行国家标准、采暖通风与空气调节设计规范 GB50019，2003中第5.4 6条规定本条第2款明确规定在洁净室,区 和洁净室、区、外设手动控制开关、为运行安全和管理要求、并规定应设自动控制开关，3.参照美国消防标准NFPA,318 洁净室消防标准，中第3、5,1条。排气通风系统应设置应急电源,为确保事故排风系统及时投入运行，不会因停电无法运行而诱发事故的发生。制定本条第3款的规定,