7.5。采暖，通风7。5.1，为使洁净室，区。内严格做到不产生或少产生尘粒。不滞留或少滞留尘粒，若洁净室。1X 需设置采暖设施时.不应采用散热器采暖.据调查了解，目前电子产品生产用洁净室，区.内大多不采用散热器采暖、为此本条作了严格规定 并为强制性条文.7，5 2 为确保局部排风系统的安全 稳定运行 电子工业洁净厂房内局部排风系统单独设置的要求。应符合现行国家标准、洁净厂房设计规范、GB。50073 2001中第6.5 3条规定、7、5，3 一些电子工业洁净厂房内使用各类品种，一定数量的可燃 易爆和有毒物质，其中以集成电路芯片制造工厂为最多、为确保电子产品生产的安全，可靠运行。通常在使用这些物质的生产设备均设有局部排风系统。在芯片制造用洁净厂房中的可燃 有毒或有害物质主要有,酸碱类.HF,HCl，H2SO4，HN03 NH3等、有机类，IPA，异丙醇、CHCl3.NBA、HMDS，丙酮等.特种气体，AsH3。SiH4、PH3.B2H6 HCl，NF3、WF6。SiHCl3。CF4 SF6。N20等，这些物质大部分对人类生存环境具有巨大的危害性 为此.电子工业洁净厂房设计中必须采取必要的技术措施。将危害性减少到最小。同时。还应采取技术措施。防止这些物质的排气系统对所在厂房的安全、卫生造成威胁或危害 本条的各项要求以此为出发点作出相应的规定、现对一些规定说明如下。1。排气系统中。含有水蒸气或凝结物质时，若不能排除系统中的凝结液。将使排气系统不能正常运行或造成安全事故或影响洁净室。区。的空气洁净度.为此本条规定 此类排风系统应设坡度及排放口,以便及时排出凝结物质、2.排气介质中含有剧毒物质时、该排风系统在运行过程中是不能停止运转的，一旦停机,将对洁净室工作人员和洁净厂房周围环境带来致命的或巨大的危害,为此本条规定、此类排风系统的排风机和处理设备应设备用，并设置应急电源、排风介质中含易燃。易爆等危险物质或工艺可靠性要求较高时、为确保安全运行，排风系统也不能停止运转。为此本条规定。此类系统的排风机应设备用,并应设应急电源 3,现将美国消防协会,NFPA,的NFPA.318，洁净室消防标准 中的相关条文摘录如下，供参考 第3。5,1条，排风系统必须设有自动应急电源。第3.5。2条.应急电源工作时、必须达到不低于排气系统50。的容量、第8.8节、使用可燃或易燃化学品的设备。必须具有可燃或易燃气体或蒸气浓度降低至爆炸下限20。以下的排气系统。7,5，4 为了避免含有毒性 爆炸危险性物质的排气管路向沿程或路由区域泄漏、形成安全事故的发生 本条规定、此类排气管路内压力应低于路由区域内的压力 即保持一定的负压值 美国消防协会的NFPA，318。洁净室消防标准,中第3,2，3条规定。含有有毒化学物质的排气系统压力、必须低于通过建筑区域的正常压力、7。5、6。制定本条的主要依据有,1.按现行国家标准.采暖通风与空气调节设计规范、GB50019.2003中第5.4,3条制定本条第1款规定。2.根据现行国家标准、采暖通风与空气调节设计规范。GB50019、2003中第5 4 6条规定本条第2款明确规定在洁净室,区。和洁净室.区,外设手动控制开关.为运行安全和管理要求,并规定应设自动控制开关，3。参照美国消防标准NFPA.318 洁净室消防标准。中第3,5，1条。排气通风系统应设置应急电源 为确保事故排风系统及时投入运行,不会因停电无法运行而诱发事故的发生 制定本条第3款的规定.