7.5 采暖、通风7、5、1,为使洁净室.区 内严格做到不产生或少产生尘粒,不滞留或少滞留尘粒 若洁净室。1X，需设置采暖设施时、不应采用散热器采暖.据调查了解 目前电子产品生产用洁净室.区,内大多不采用散热器采暖.为此本条作了严格规定。并为强制性条文，7、5，2.为确保局部排风系统的安全 稳定运行 电子工业洁净厂房内局部排风系统单独设置的要求。应符合现行国家标准、洁净厂房设计规范.GB,50073、2001中第6.5、3条规定。7,5 3、一些电子工业洁净厂房内使用各类品种.一定数量的可燃。易爆和有毒物质,其中以集成电路芯片制造工厂为最多 为确保电子产品生产的安全。可靠运行,通常在使用这些物质的生产设备均设有局部排风系统，在芯片制造用洁净厂房中的可燃、有毒或有害物质主要有。酸碱类。HF.HCl、H2SO4，HN03、NH3等。有机类，IPA.异丙醇。CHCl3。NBA,HMDS，丙酮等 特种气体 AsH3，SiH4。PH3 B2H6、HCl，NF3，WF6，SiHCl3。CF4.SF6、N20等,这些物质大部分对人类生存环境具有巨大的危害性,为此 电子工业洁净厂房设计中必须采取必要的技术措施，将危害性减少到最小，同时。还应采取技术措施.防止这些物质的排气系统对所在厂房的安全,卫生造成威胁或危害、本条的各项要求以此为出发点作出相应的规定.现对一些规定说明如下、1、排气系统中,含有水蒸气或凝结物质时,若不能排除系统中的凝结液，将使排气系统不能正常运行或造成安全事故或影响洁净室，区。的空气洁净度。为此本条规定 此类排风系统应设坡度及排放口 以便及时排出凝结物质、2。排气介质中含有剧毒物质时.该排风系统在运行过程中是不能停止运转的，一旦停机、将对洁净室工作人员和洁净厂房周围环境带来致命的或巨大的危害.为此本条规定，此类排风系统的排风机和处理设备应设备用。并设置应急电源 排风介质中含易燃，易爆等危险物质或工艺可靠性要求较高时 为确保安全运行 排风系统也不能停止运转 为此本条规定,此类系统的排风机应设备用。并应设应急电源、3，现将美国消防协会 NFPA。的NFPA,318.洁净室消防标准,中的相关条文摘录如下、供参考。第3,5、1条。排风系统必须设有自动应急电源、第3，5 2条,应急电源工作时。必须达到不低于排气系统50。的容量、第8 8节 使用可燃或易燃化学品的设备，必须具有可燃或易燃气体或蒸气浓度降低至爆炸下限20，以下的排气系统、7、5、4，为了避免含有毒性,爆炸危险性物质的排气管路向沿程或路由区域泄漏，形成安全事故的发生、本条规定、此类排气管路内压力应低于路由区域内的压力、即保持一定的负压值 美国消防协会的NFPA 318.洁净室消防标准,中第3，2 3条规定、含有有毒化学物质的排气系统压力，必须低于通过建筑区域的正常压力、7.5，6。制定本条的主要依据有,1。按现行国家标准.采暖通风与空气调节设计规范、GB50019 2003中第5。4.3条制定本条第1款规定、2。根据现行国家标准。采暖通风与空气调节设计规范，GB50019，2003中第5 4,6条规定本条第2款明确规定在洁净室，区。和洁净室,区 外设手动控制开关，为运行安全和管理要求，并规定应设自动控制开关，3 参照美国消防标准NFPA，318 洁净室消防标准 中第3 5、1条。排气通风系统应设置应急电源.为确保事故排风系统及时投入运行，不会因停电无法运行而诱发事故的发生,制定本条第3款的规定，