13。3、防静电接地13，3。1，洁净厂房内金属物体包括洁净室.区,的墙面，门窗，吊顶的金属骨架、应与接地系统做可靠连接,导静电地面、活动地板,工作台面.座椅等应做静电接地,13 3、2.静电接地的连接线应有足够的机械强度和化学稳定性.其主干线截面不应小于95mm2 支线最小截面应为2 5mm2。13 3 3，与人体接触的静电接地应串接限流电阻、限流电阻的阻值宜为1MΩ，13 3，4。对电子产品生产过程中产生静电危害的设备，流动液体 气体或粉体管道.应采取防静电接地措施、其中有爆炸和火灾危险的设备、管道应符合现行国家标准、爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范、GB、50058的有关规定。