7.空气净化和空调通风设计7。1,一般规定7。1,1、洁净厂房内各洁净室,区、的空气洁净度等级、应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定 7 1。2,气流流型应根据各洁净室 区,空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用,7,1。3,有下列情况之一者、净化空调系统宜分开设置,1 运行班次或使用时间不同.2、生产过程中散发的物质对其他工序 设备交叉污染。对产品质量或操作人员健康,安全有影响、3、对温、湿度控制要求差别大,4 洁净室,区,内工艺设备发热相差悬殊、5.净化空调系统与一般空调系统 6,系统风量过大的净化空调系统、7,1,4,洁净室、区、内的温度 相对湿度应符合本规范第3,2 3条的规定、7 1.5,洁净室,区.内的新鲜空气量应符合现行国家标准。洁净厂房设计规范,GB.50073的有关规定.7.1,6。洁净室.区.与周围的空间应保持一定的静压差,静压差应符合下列规定 1 各洁净室 区、与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定、2,不同等级的洁净室、区.之间的静压差应大于等于5Pa.3,洁净室 区、与非洁净室。区。之间的静压差应大于5Pa、4 洁净室,区,与室外的静压差应大于10Pa,7 1,7。洁净室、区,维持静压差值所需的压差风量。宜采用缝隙法或换气次数法确定。7。1,8。送风,回风和排风系统的启闭联锁.控制要求、应符合现行国家标准,洁净厂房设计规范 GB、50073的有关规定 7 1.9,非连续运行的洁净室.可根据生产工艺要求设置值班送风,并应进行净化处理 7 1 10.洁净室,区、的清扫方式应根据洁净厂房的规模,空气洁净度等级等因素确定、洁净室、区 宜采用移动式高效真空吸尘器 对于空气洁净度等级为1。5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统.洁净室内的吸尘系统管道应暗敷,