7 空气净化和空调通风设计7、1、一般规定7 1,1 洁净厂房内各洁净室、区 的空气洁净度等级、应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定。7,1,2、气流流型应根据各洁净室。区 空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用,7 1,3.有下列情况之一者,净化空调系统宜分开设置,1、运行班次或使用时间不同,2.生产过程中散发的物质对其他工序,设备交叉污染。对产品质量或操作人员健康,安全有影响。3,对温,湿度控制要求差别大.4、洁净室、区。内工艺设备发热相差悬殊 5.净化空调系统与一般空调系统.6。系统风量过大的净化空调系统。7,1,4.洁净室,区,内的温度、相对湿度应符合本规范第3 2,3条的规定.7、1,5,洁净室,区,内的新鲜空气量应符合现行国家标准,洁净厂房设计规范.GB。50073的有关规定、7。1,6,洁净室.区,与周围的空间应保持一定的静压差,静压差应符合下列规定.1、各洁净室、区,与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定,2。不同等级的洁净室。区、之间的静压差应大于等于5Pa.3 洁净室。区.与非洁净室 区.之间的静压差应大于5Pa 4 洁净室.区。与室外的静压差应大于10Pa 7.1,7.洁净室,区,维持静压差值所需的压差风量.宜采用缝隙法或换气次数法确定、7、1 8。送风 回风和排风系统的启闭联锁,控制要求 应符合现行国家标准,洁净厂房设计规范。GB,50073的有关规定,7,1,9.非连续运行的洁净室。可根据生产工艺要求设置值班送风,并应进行净化处理.7 1。10,洁净室.区、的清扫方式应根据洁净厂房的规模.空气洁净度等级等因素确定、洁净室,区、宜采用移动式高效真空吸尘器 对于空气洁净度等级为1.5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统 洁净室内的吸尘系统管道应暗敷。

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