7、空气净化和空调通风设计7,1,一般规定7,1。1。洁净厂房内各洁净室,区,的空气洁净度等级 应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定、7、1,2。气流流型应根据各洁净室、区,空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用,7,1。3,有下列情况之一者.净化空调系统宜分开设置.1.运行班次或使用时间不同,2、生产过程中散发的物质对其他工序,设备交叉污染,对产品质量或操作人员健康 安全有影响、3、对温。湿度控制要求差别大。4,洁净室 区,内工艺设备发热相差悬殊、5,净化空调系统与一般空调系统,6。系统风量过大的净化空调系统.7 1。4、洁净室,区,内的温度,相对湿度应符合本规范第3,2、3条的规定.7、1 5。洁净室。区.内的新鲜空气量应符合现行国家标准,洁净厂房设计规范,GB,50073的有关规定.7。1,6、洁净室,区.与周围的空间应保持一定的静压差、静压差应符合下列规定.1,各洁净室。区,与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定。2 不同等级的洁净室,区,之间的静压差应大于等于5Pa 3、洁净室,区,与非洁净室 区.之间的静压差应大于5Pa,4、洁净室、区、与室外的静压差应大于10Pa。7 1 7,洁净室 区、维持静压差值所需的压差风量 宜采用缝隙法或换气次数法确定 7、1、8、送风 回风和排风系统的启闭联锁、控制要求.应符合现行国家标准.洁净厂房设计规范 GB,50073的有关规定 7、1,9.非连续运行的洁净室.可根据生产工艺要求设置值班送风、并应进行净化处理、7,1,10。洁净室.区。的清扫方式应根据洁净厂房的规模.空气洁净度等级等因素确定.洁净室.区、宜采用移动式高效真空吸尘器,对于空气洁净度等级为1,5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统、洁净室内的吸尘系统管道应暗敷

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