5.5 设备及工器具5，5，1。洁净室,区,内应采用具有防尘，防污染的生产设备和辅助生产设备、并应符合下列要求。1。表面应光洁，易清洁.不积尘,不挥发化学物质 2.设备的传动部件等应密封性能好、并应防止润滑油 冷却剂等的泄漏、3。对生产中发尘,排热量大或排出有毒，可燃气体的设备,应采取防扩散措施.4,设备的金属外壳应设置接地设施。5。5.2，当设备安装在跨越不同空气洁净度等级的洁净室，区。时、宜采取密封隔断措施、5、5.3 洁净室。区。内的设备宜选用低噪声产品,当所选设备超过洁净室噪声容许值时。应采取隔声措施，5。5。4、洁净室.区 应设置对电子产品生产过程所使用的工器具进行净化处理的设施，5、5.5、洁净室 区。内,电子产品生产过程中各种零，部件存放和传送.宜采用专用容器,用于存放和传送的专用容器、应符合下列规定、1，制作材料应光洁,不吸湿、不锈蚀，不散发污染物 防静电，并在空气中不应被氧化,2.应密封性能好、3 当存放物有严格的洁净度要求时，宜充填高纯度或干燥氮气 4。构造.外形应满足生产工艺要求、并应方便操作和运送.5 5、6,洁净室，区 内设置真空泵时,应符合下列规定、1，使用油润滑的真空泵应设置除油装置,除油后尾气应排入排气系统.2，对传输含有可燃气体的真空泵 可燃气体浓度超过爆炸下限的20.时，应设尾气处理装置。在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分.3。传输易燃.自燃化学品或高浓度氧气的真空泵、应采用不燃泵油,并应配置氮气吹扫，氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁,