5.5 设备及工器具5。5。1.洁净室.区、内应采用具有防尘,防污染的生产设备和辅助生产设备，并应符合下列要求,1，表面应光洁 易清洁 不积尘，不挥发化学物质。2.设备的传动部件等应密封性能好，并应防止润滑油.冷却剂等的泄漏,3,对生产中发尘,排热量大或排出有毒.可燃气体的设备,应采取防扩散措施，4,设备的金属外壳应设置接地设施、5，5。2 当设备安装在跨越不同空气洁净度等级的洁净室 区，时 宜采取密封隔断措施、5,5。3。洁净室 区、内的设备宜选用低噪声产品 当所选设备超过洁净室噪声容许值时 应采取隔声措施 5、5.4、洁净室，区、应设置对电子产品生产过程所使用的工器具进行净化处理的设施,5。5.5 洁净室。区,内 电子产品生产过程中各种零、部件存放和传送 宜采用专用容器,用于存放和传送的专用容器 应符合下列规定、1,制作材料应光洁、不吸湿。不锈蚀，不散发污染物,防静电，并在空气中不应被氧化.2.应密封性能好,3 当存放物有严格的洁净度要求时,宜充填高纯度或干燥氮气,4、构造、外形应满足生产工艺要求、并应方便操作和运送。5。5。6 洁净室。区 内设置真空泵时，应符合下列规定、1,使用油润滑的真空泵应设置除油装置、除油后尾气应排入排气系统,2.对传输含有可燃气体的真空泵。可燃气体浓度超过爆炸下限的20,时 应设尾气处理装置,在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分。3。传输易燃,自燃化学品或高浓度氧气的真空泵.应采用不燃泵油,并应配置氮气吹扫、氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁，