10 4 特种气体系统10、4。1 特种气体应采用外购钢瓶气体,液态气体供应.在电子工厂内应设置储存、分配系统,10 4，2。洁净厂房内特种气体的储存分配间应采用耐火极限不低于2,0h不燃烧体的隔墙与洁净室,区.分隔.隔墙上的门窗应为甲级防火门窗 10。4.3、洁净室,区,内可燃或有毒的特种气体分配系统的设置。应符合下列规定。1.特种气体钢瓶.含硅烷或硅烷混合物，应设置在具有连续机械排风的特气柜中.2。排风机，泄漏报警，自动切断阀均应设置应急电源,3、一个特气分配系统供多台生产设备使用时。应设置多路阀门箱.4。可燃性 氧化性特种气体管道的设置应符合本规范第10、1和10、2节的有关规定,10 4、4 特种气体分配系统应设置吹扫盘，并应符合下列规定 1，应设置应急切断装置、2,应设置过流量控制装置，3，应设置手动隔离阀。4.吹扫气源不宜采用常用气体系统。5，不相容特种气体的吹扫盘不得共用吹扫气瓶。10 4、5，硅烷或硅烷混合物的气瓶应存放在洁净厂房建筑外的储存区内、储存区的设置应符合下列规定。1、储存区应至少三面敞开,气瓶应固定在钢制框架上，2.气瓶或气瓶组与周围的构筑物或围栏的间距应大于3.0m，3.储存区顶棚的高度应大于3、5m.