10.4 特种气体系统10,4。1 特种气体应采用外购钢瓶气体，液态气体供应，在电子工厂内应设置储存、分配系统。10、4。2.洁净厂房内特种气体的储存分配间应采用耐火极限不低于2。0h不燃烧体的隔墙与洁净室、区 分隔、隔墙上的门窗应为甲级防火门窗、10,4.3 洁净室,区 内可燃或有毒的特种气体分配系统的设置,应符合下列规定、1 特种气体钢瓶,含硅烷或硅烷混合物、应设置在具有连续机械排风的特气柜中,2。排风机，泄漏报警、自动切断阀均应设置应急电源、3，一个特气分配系统供多台生产设备使用时 应设置多路阀门箱.4.可燃性，氧化性特种气体管道的设置应符合本规范第10,1和10。2节的有关规定。10,4 4、特种气体分配系统应设置吹扫盘.并应符合下列规定。1，应设置应急切断装置、2。应设置过流量控制装置。3，应设置手动隔离阀,4。吹扫气源不宜采用常用气体系统,5。不相容特种气体的吹扫盘不得共用吹扫气瓶。10、4 5，硅烷或硅烷混合物的气瓶应存放在洁净厂房建筑外的储存区内。储存区的设置应符合下列规定、1.储存区应至少三面敞开，气瓶应固定在钢制框架上.2、气瓶或气瓶组与周围的构筑物或围栏的间距应大于3,0m.3。储存区顶棚的高度应大于3，5m,