5 2，工艺布局5、2.1、洁净厂房的工艺布置应按产品生产工艺流程，洁净室的气流流型,工艺设备的安装和维修 物料运输等要求确定,在单向流洁净室内进行生产工艺设备 操作程序，人员流动路线和物料传输布置时，应采取避免发生气流干扰和交叉污染的措施。5.2.2、工艺布局应避免人流和物流之间的混杂和交叉。宜分别设置人员入口、物料入口和设备出入口。并应在各自的入口处设置相应的净化设施。5、2、3.在满足生产工艺和微振控制 噪声控制等要求的前提下、空气洁净度严格的洁净室,区、宜靠近空调机房布置 空气洁净度等级相同的工序或工作室宜集中布置 5,2。4，洁净室、区 内要求空气洁净度严格的工序、设备,应远离出入口和可能干扰气流的场所设置 并宜布置在上风侧，易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置或下风侧,5,2.5.工艺布置时,应根据大型生产工艺设备的运输。安装,维修的要求设置运输通道 安装口或检修口。5，2，6,洁净厂房内不同空气洁净度等级的洁净室 区 之间联系频繁时、应采取防止污染的措施，