5 2 工艺布局5。2,1,洁净厂房的工艺布置应按产品生产工艺流程，洁净室的气流流型，工艺设备的安装和维修、物料运输等要求确定,在单向流洁净室内进行生产工艺设备，操作程序，人员流动路线和物料传输布置时、应采取避免发生气流干扰和交叉污染的措施 5.2、2 工艺布局应避免人流和物流之间的混杂和交叉。宜分别设置人员入口.物料入口和设备出入口.并应在各自的入口处设置相应的净化设施、5，2,3 在满足生产工艺和微振控制 噪声控制等要求的前提下.空气洁净度严格的洁净室。区、宜靠近空调机房布置 空气洁净度等级相同的工序或工作室宜集中布置,5,2 4。洁净室 区、内要求空气洁净度严格的工序 设备,应远离出入口和可能干扰气流的场所设置。并宜布置在上风侧、易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置或下风侧、5 2 5。工艺布置时、应根据大型生产工艺设备的运输.安装 维修的要求设置运输通道，安装口或检修口，5。2 6,洁净厂房内不同空气洁净度等级的洁净室。区 之间联系频繁时.应采取防止污染的措施,