15 微振控制15.1，一般规定15.1 1 洁净厂房的微振控制设施的设计应分阶段进行.应包括设计，施工和投产等各阶段的微振动测试.厂房建筑结构微振控制设计，动力设备隔振设计和精密仪器设备隔振设计等.15,1。2.设计有微振控制要求的洁净厂房时、应符合下列规定 1、总平面布置时、应核实相邻厂房，建筑物或构筑物对精密设备 仪器的振动影响、2 设有精密设备、仪器的洁净厂房。其建筑基础构造、结构选型、隔振缝的设置。洁净室装修等应按微振控制要求设计 3。对设有精密设备，仪器的洁净室，区,有振动影响的动力设备及其管道，应采取主动隔振措施 4,洁净室 区 内精密设备 仪器 经测试确认受到周围振动影响时.应采取被动隔振措施.