15。微振控制15，1,一般规定影响洁净厂房内精密设备,仪器的微振控制设施不能达到微振动容许值的因素主要有，环境的干扰振动。洁净厂房内公用动力系统 净化空调系统的设备、管道在运转过程中产生的振动等,洁净厂房的建筑基础构造,结构选型，隔振缝的设置等能否满足微振控制要求.微振动控制设施中所采取的主动隔振措施 被动隔振措施的准确性等.微振控制设施的工程设计,施工，测试和实际运转的实践表明、洁净厂房的精密设备.仪器的微振控制设施的设计 应分阶段进行,这里所谓的分阶段进行微振控制设施的设计是根据微振动测试所得到的数据进行分析研究后作为设计依据、按具体项目工程设计的要求。一般是按2.3阶段进行精密设备 仪器的微振控制设计工作、一是按场地环境测试数据和精密设备、仪器的微振控制要求.合理进行所在洁净厂房的总平面布置和建筑基础以及隔振措施的设计。二是根据建筑结构振动特性测试和精密设备安装地点环境振动测试及其分析研究结果、合理.准确地进行微振控制设施的设计 三是在微振控制设备的最终测试和分析研究后。若微振控制设施没有达到控制要求时，尚需进行调整设计，