7。空气净化和空调通风设计7、1,一般规定7,1、1,洁净厂房内各洁净室。区.的空气洁净度等级 应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定.7,1 2,气流流型应根据各洁净室,区.空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用、7,1。3.有下列情况之一者。净化空调系统宜分开设置.1 运行班次或使用时间不同,2、生产过程中散发的物质对其他工序。设备交叉污染.对产品质量或操作人员健康,安全有影响。3。对温 湿度控制要求差别大,4,洁净室、区 内工艺设备发热相差悬殊 5,净化空调系统与一般空调系统,6,系统风量过大的净化空调系统,7、1,4。洁净室 区,内的温度,相对湿度应符合本规范第3、2,3条的规定,7.1。5.洁净室.区,内的新鲜空气量应符合现行国家标准、洁净厂房设计规范,GB,50073的有关规定、7,1 6。洁净室、区 与周围的空间应保持一定的静压差。静压差应符合下列规定,1,各洁净室,区。与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定。2,不同等级的洁净室,区。之间的静压差应大于等于5Pa,3、洁净室 区。与非洁净室。区 之间的静压差应大于5Pa.4。洁净室,区.与室外的静压差应大于10Pa 7、1,7。洁净室 区.维持静压差值所需的压差风量 宜采用缝隙法或换气次数法确定,7,1。8,送风,回风和排风系统的启闭联锁。控制要求 应符合现行国家标准,洁净厂房设计规范 GB 50073的有关规定,7,1.9 非连续运行的洁净室。可根据生产工艺要求设置值班送风,并应进行净化处理,7.1、10.洁净室,区,的清扫方式应根据洁净厂房的规模.空气洁净度等级等因素确定。洁净室。区,宜采用移动式高效真空吸尘器、对于空气洁净度等级为1 5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统,洁净室内的吸尘系统管道应暗敷。

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