7。空气净化和空调通风设计7 1 一般规定7。1、1,洁净厂房内各洁净室、区,的空气洁净度等级。应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定。7.1 2、气流流型应根据各洁净室、区 空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用。7、1 3,有下列情况之一者.净化空调系统宜分开设置 1 运行班次或使用时间不同,2,生产过程中散发的物质对其他工序.设备交叉污染,对产品质量或操作人员健康、安全有影响。3,对温。湿度控制要求差别大.4、洁净室,区,内工艺设备发热相差悬殊。5,净化空调系统与一般空调系统、6,系统风量过大的净化空调系统。7,1。4,洁净室,区 内的温度。相对湿度应符合本规范第3,2 3条的规定 7 1,5、洁净室,区、内的新鲜空气量应符合现行国家标准 洁净厂房设计规范,GB。50073的有关规定 7 1、6、洁净室.区.与周围的空间应保持一定的静压差,静压差应符合下列规定,1.各洁净室 区,与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定、2,不同等级的洁净室 区.之间的静压差应大于等于5Pa。3.洁净室 区。与非洁净室,区 之间的静压差应大于5Pa,4、洁净室。区,与室外的静压差应大于10Pa、7。1 7.洁净室.区 维持静压差值所需的压差风量.宜采用缝隙法或换气次数法确定.7,1。8 送风.回风和排风系统的启闭联锁.控制要求,应符合现行国家标准、洁净厂房设计规范 GB,50073的有关规定。7。1 9。非连续运行的洁净室.可根据生产工艺要求设置值班送风 并应进行净化处理.7,1,10 洁净室、区,的清扫方式应根据洁净厂房的规模,空气洁净度等级等因素确定、洁净室,区.宜采用移动式高效真空吸尘器.对于空气洁净度等级为1 5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统。洁净室内的吸尘系统管道应暗敷.

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