7 空气净化和空调通风设计7.1,一般规定7。1,1,洁净厂房内各洁净室,区 的空气洁净度等级,应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定,7 1、2,气流流型应根据各洁净室。区,空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用 7,1。3。有下列情况之一者,净化空调系统宜分开设置 1,运行班次或使用时间不同,2 生产过程中散发的物质对其他工序,设备交叉污染、对产品质量或操作人员健康,安全有影响。3,对温,湿度控制要求差别大、4、洁净室.区。内工艺设备发热相差悬殊。5.净化空调系统与一般空调系统.6、系统风量过大的净化空调系统,7、1,4,洁净室,区 内的温度,相对湿度应符合本规范第3,2.3条的规定 7,1。5 洁净室.区,内的新鲜空气量应符合现行国家标准,洁净厂房设计规范,GB、50073的有关规定,7,1、6.洁净室,区,与周围的空间应保持一定的静压差,静压差应符合下列规定,1.各洁净室。区,与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定、2,不同等级的洁净室、区。之间的静压差应大于等于5Pa。3 洁净室,区。与非洁净室,区、之间的静压差应大于5Pa,4 洁净室,区。与室外的静压差应大于10Pa。7,1。7,洁净室,区。维持静压差值所需的压差风量。宜采用缝隙法或换气次数法确定、7.1,8,送风 回风和排风系统的启闭联锁 控制要求,应符合现行国家标准 洁净厂房设计规范 GB,50073的有关规定。7 1 9、非连续运行的洁净室 可根据生产工艺要求设置值班送风。并应进行净化处理 7、1、10 洁净室,区 的清扫方式应根据洁净厂房的规模 空气洁净度等级等因素确定、洁净室。区,宜采用移动式高效真空吸尘器,对于空气洁净度等级为1。5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统 洁净室内的吸尘系统管道应暗敷。