13。2 防静电措施13,2.1,洁净厂房防静电环境中,防静电地面的面层结构和材料应符合下列要求,1,防静电地面面层的选择,应满足电子产品生产工艺的要求,2,防静电地面的表层应采用静电耗散性材料 静电耗散性材料表面电阻率应为2、5、104 1、109Ω 3 防静电地面应设置导静电泄放设施和接地连接,其地面对地泄放电阻值应为1,105、1 108Ω,13、2,2 洁净厂房防静电环境的吊顶。墙面和柱面的装饰设计。应符合下列要求。1.一级防静电工作区的地面 墙面和柱面应采用导静电型 导静电型地面。墙面.柱面的表面电阻.对地电阻应为2、5,104、1,106Ω.摩擦起电电压不应大于100V。静电半衰期不应大于0 1s、2,二级防静电工作区的地面,墙面,柱面,顶棚。门和软帘应采用静电耗散型。静电耗散型地面 墙面 柱面和顶棚,门的表面电阻,对地电阻应为1,106,1,109Ω、摩擦起电电压不应大于200V.静电半衰期不应大于1s。但软帘的摩擦起电电压不应大于300V,3 三级防静电工作区的地面、墙面和柱面宜根据生产工艺要求采用静电耗散型材料或低起电材料 顶棚.门等宜采用低起电材料,选用静电耗散型材料的地面.墙面和柱面.应符合本条第2款的要求,选用低起电材料的地面,墙面,柱面、顶棚,门等的摩擦起电电压不应大于1000V 13.2、3、洁净厂房防静电环境的门窗设计,应符合下列要求、1、应选用静电耗散材料制作门窗或采用耗散材料贴面。2 金属门窗表面应涂刷静电耗散性涂层 并应接地 3,室内隔断和观察窗安装大面积玻璃时.玻璃表面应粘贴静电耗散性透明薄膜或喷涂静电耗散性涂层 13 2。4.洁净厂房防静电环境的装修设计应符合下列要求。1,各类装修材料应具有表面静电耗散性能.不得使用未经表面改性处理的高分子绝缘的装饰材料.2 各类装修的饰面应平整光滑.13.2,5。洁净厂房防静电环境的净化空调系统送风口和风管,应选用导电材料制作.并应接地,13 2。6。洁净厂房防静电环境的净化空调系统,各种配管使用部分绝缘性材质时、应在其表面安装金属网。并应将其接地.当使用导电性橡胶软管时。应在软管上安装与其紧密结合的金属导体。并应采用接地引线与其可靠连接接地。13,2 7 洁净厂房防静电环境中。应根据生产工艺的需要设置静电消除器,防静电安全工作台

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