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13,2,防静电措施13、2、1.洁净厂房防静电环境中 防静电地面的面层结构和材料应符合下列要求,1、防静电地面面层的选择.应满足电子产品生产工艺的要求.2,防静电地面的表层应采用静电耗散性材料 静电耗散性材料表面电阻率应为2。5、104.1。109Ω、3,防静电地面应设置导静电泄放设施和接地连接,其地面对地泄放电阻值应为1、105、1.108Ω 13,2 2。洁净厂房防静电环境的吊顶、墙面和柱面的装饰设计 应符合下列要求,1,一级防静电工作区的地面,墙面和柱面应采用导静电型,导静电型地面,墙面。柱面的表面电阻.对地电阻应为2,5,104 1、106Ω 摩擦起电电压不应大于100V,静电半衰期不应大于0。1s 2,二级防静电工作区的地面、墙面、柱面.顶棚、门和软帘应采用静电耗散型 静电耗散型地面。墙面、柱面和顶棚。门的表面电阻、对地电阻应为1 106,1、109Ω,摩擦起电电压不应大于200V。静电半衰期不应大于1s 但软帘的摩擦起电电压不应大于300V。3,三级防静电工作区的地面。墙面和柱面宜根据生产工艺要求采用静电耗散型材料或低起电材料。顶棚,门等宜采用低起电材料.选用静电耗散型材料的地面,墙面和柱面、应符合本条第2款的要求 选用低起电材料的地面,墙面,柱面,顶棚、门等的摩擦起电电压不应大于1000V,13,2,3.洁净厂房防静电环境的门窗设计、应符合下列要求.1、应选用静电耗散材料制作门窗或采用耗散材料贴面,2.金属门窗表面应涂刷静电耗散性涂层,并应接地,3。室内隔断和观察窗安装大面积玻璃时,玻璃表面应粘贴静电耗散性透明薄膜或喷涂静电耗散性涂层、13。2,4。洁净厂房防静电环境的装修设计应符合下列要求、1,各类装修材料应具有表面静电耗散性能、不得使用未经表面改性处理的高分子绝缘的装饰材料,2.各类装修的饰面应平整光滑 13。2 5,洁净厂房防静电环境的净化空调系统送风口和风管 应选用导电材料制作、并应接地,13、2.6、洁净厂房防静电环境的净化空调系统。各种配管使用部分绝缘性材质时,应在其表面安装金属网 并应将其接地、当使用导电性橡胶软管时.应在软管上安装与其紧密结合的金属导体,并应采用接地引线与其可靠连接接地,13 2.7 洁净厂房防静电环境中.应根据生产工艺的需要设置静电消除器,防静电安全工作台。

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