13.2、防静电措施13、2 1 洁净厂房防静电环境中 防静电地面的面层结构和材料应符合下列要求。1。防静电地面面层的选择,应满足电子产品生产工艺的要求。2。防静电地面的表层应采用静电耗散性材料。静电耗散性材料表面电阻率应为2,5、104、1。109Ω 3.防静电地面应设置导静电泄放设施和接地连接、其地面对地泄放电阻值应为1,105,1 108Ω、13、2.2、洁净厂房防静电环境的吊顶 墙面和柱面的装饰设计。应符合下列要求 1 一级防静电工作区的地面.墙面和柱面应采用导静电型 导静电型地面。墙面。柱面的表面电阻、对地电阻应为2,5,104,1。106Ω。摩擦起电电压不应大于100V 静电半衰期不应大于0 1s.2.二级防静电工作区的地面,墙面.柱面。顶棚、门和软帘应采用静电耗散型、静电耗散型地面、墙面、柱面和顶棚 门的表面电阻。对地电阻应为1、106。1、109Ω 摩擦起电电压不应大于200V 静电半衰期不应大于1s,但软帘的摩擦起电电压不应大于300V。3 三级防静电工作区的地面,墙面和柱面宜根据生产工艺要求采用静电耗散型材料或低起电材料。顶棚,门等宜采用低起电材料、选用静电耗散型材料的地面,墙面和柱面 应符合本条第2款的要求、选用低起电材料的地面,墙面。柱面。顶棚,门等的摩擦起电电压不应大于1000V,13,2,3.洁净厂房防静电环境的门窗设计。应符合下列要求。1。应选用静电耗散材料制作门窗或采用耗散材料贴面,2.金属门窗表面应涂刷静电耗散性涂层。并应接地,3。室内隔断和观察窗安装大面积玻璃时。玻璃表面应粘贴静电耗散性透明薄膜或喷涂静电耗散性涂层、13.2.4 洁净厂房防静电环境的装修设计应符合下列要求 1,各类装修材料应具有表面静电耗散性能,不得使用未经表面改性处理的高分子绝缘的装饰材料,2 各类装修的饰面应平整光滑,13、2.5。洁净厂房防静电环境的净化空调系统送风口和风管 应选用导电材料制作 并应接地、13,2、6.洁净厂房防静电环境的净化空调系统,各种配管使用部分绝缘性材质时。应在其表面安装金属网,并应将其接地、当使用导电性橡胶软管时。应在软管上安装与其紧密结合的金属导体、并应采用接地引线与其可靠连接接地.13、2.7。洁净厂房防静电环境中、应根据生产工艺的需要设置静电消除器、防静电安全工作台、