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- 电子工业洁净厂房设计规范 GB 50472-2008
- 1 总 则
- 2 术 语
- 3 电子产品生产环境设计要求
- 4 总体设计
- 5 工艺设计
- 6 洁净建筑设计
- 7 空气净化和空调通风设计
- 8 给水排水设计
- 9 纯水供应
- 10 气体供应
- 11 化学品供应
- 11.1 一般规定
- 11.2 化学品储存、输送
- 11.3 管材、阀门
- 12 电气设计
- 13 防静电与接地设计
- 14 噪声控制
- 15 微振控制
- 附录A 各类电子产品生产对空气洁净度等级的要求
- 附录B 电子产品生产间／工序的火灾危险性分类举例
- 附录C 精密仪器、设备的容许振动值举例
- 附录D 洁净室(区)性能测试和认证
- 本规范用词说明
- 条文说明
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11，3。管材。阀门11.3、1，化学品供应系统管道材质的选用.应按所输送化学品的物理化学性质确定，并应选择化学稳定性能良好和相容性好的材料、11。3 2 输送腐蚀性化学品的管道,可直接采用非金属管材.但应设置保护套管，11，3 3。化学品输送管路系统。对多台生产设备供应化学品时,应设置分配阀箱.11 3.4。输送有机溶剂的管道材质，宜采用低碳不锈钢管,输送酸.碱类管道材质.宜采用聚四氟乙烯,用于管道系统的垫片,宜采用氟橡胶或聚四氟乙烯.11,3，5,用于化学品管路的阀门材质应与管道材质一致,
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