12、4,自动控制12、4。1,洁净厂房的自动控制系统宜采用集散式网络结构、并应具有稳定、可靠.节能,开放和可扩展性,12。4。2 洁净厂房应对净化空调.供热、供冷。纯水和气体供应等系统进行自动监控。12.4。3,洁净室,区.内外的压差监测.宜采用压差变送器通过控制系统调节洁净室，区。的送风量或回风量.12、4.4,净化空调系统采用电加热器时。电加热器与风机应联锁控制.并应设置无风.超温断电保护、当采用电加湿器时.应设置无水,无风断电保护.12。4 5，在满足生产工艺要求的前提下。宜对风机,水泵等动力设备采取变频调速等节能控制措施