12 4 自动控制12、4，1 洁净厂房的自动控制系统宜采用集散式网络结构.并应具有稳定.可靠，节能。开放和可扩展性,12 4,2.洁净厂房应对净化空调 供热。供冷、纯水和气体供应等系统进行自动监控。12.4。3.洁净室.区、内外的压差监测 宜采用压差变送器通过控制系统调节洁净室,区 的送风量或回风量 12。4 4。净化空调系统采用电加热器时 电加热器与风机应联锁控制 并应设置无风,超温断电保护。当采用电加湿器时。应设置无水，无风断电保护.12.4,5,在满足生产工艺要求的前提下。宜对风机。水泵等动力设备采取变频调速等节能控制措施，