10.3。干燥压缩空气系统10,3.1。干燥压缩空气系统是电子工厂中的一种重要动力源 它用于许多电子产品生产工艺设备气动设备或仪器仪表的动力气源，一旦供气量不足或供气品质下降.都将影响产品生产过程的正常进行.严重时还将停产 故本条对电子工业洁净厂房中的干燥压缩空气系统作了相关的规定。1,应按生产工艺、公用动力系统对于燥压缩空气品质。消耗量确定设计规模.为确保生产工艺供气的安全、可靠，稳定性要求。应留有合理的富余量，当产品生产过程要求不能中断供气或中断供气将会引起安全事故时，应设置一定的备用供气装置等。2、电子产品生产过程对干燥压缩空气的含水量.或露点、含油量,微粒粒径及其浓度的要求较为严格 表24是一些电子产品生产工艺对干燥压缩空气品质的主要要求 3。电子工厂所需干燥压缩空气大多要求严格控制含油量或无油、即使少数产品因生产工艺对干燥压缩空气无含油量要求,但为了确保干燥装置的安全可靠运行，应采用无油润滑空气压缩机或采取多级过滤器除油,所以本条推荐。宜选用无油润滑空气压缩机、