3、基本规定3.1、施工条件3.1,1,微组装设备安装前.洁净厂房应符合下列规定,1，应空态验收合格,净化空调系统应连续正常运行24h以上，2。温度宜为20、26。3 相对湿度宜为30、70、4 地坪承载能力应满足设备承载要求、5 净空高度应满足设备安装要求,6、厂房入口的人身净化设施应已启用,7、应具备设备搬入口，8 消防设施应已通过专项验收.可以启用。9 防静电工作区的防静电设施应已通过测试验收、10,应有符合要求的电源 气源，水源和接地端子。11.应设置员工安全疏散通道,3.1，2.微组装设备安装应具备下列技术文件.1、设备安装平面图.2.设备装箱清单,3，设备制造商提供的设备安装。运行，维护技术文件及安装技术参数,3、1,3 进入净化厂房的施工人员应取得进入洁净区的通行证，特殊工种应按有关规定持证上岗。3 1。4 设备安装及配管配线工程材料应符合现行国家标准，电子工业洁净厂房设计规范,GB,50472的有关规定。3，1。5。施工用的机具应符合现行国家标准.微电子生产设备安装工程施工及验收规范,GB，50467的有关规定、