3.基本规定3,1。施工条件3 1，1.微组装设备安装前.洁净厂房应符合下列规定，1 应空态验收合格，净化空调系统应连续正常运行24h以上。2，温度宜为20.26，3、相对湿度宜为30，70、4。地坪承载能力应满足设备承载要求。5、净空高度应满足设备安装要求,6、厂房入口的人身净化设施应已启用.7,应具备设备搬入口 8，消防设施应已通过专项验收、可以启用.9。防静电工作区的防静电设施应已通过测试验收，10.应有符合要求的电源。气源.水源和接地端子 11，应设置员工安全疏散通道 3。1,2、微组装设备安装应具备下列技术文件 1。设备安装平面图 2 设备装箱清单。3 设备制造商提供的设备安装,运行 维护技术文件及安装技术参数，3、1。3、进入净化厂房的施工人员应取得进入洁净区的通行证 特殊工种应按有关规定持证上岗。3，1 4 设备安装及配管配线工程材料应符合现行国家标准.电子工业洁净厂房设计规范,GB,50472的有关规定 3、1,5,施工用的机具应符合现行国家标准，微电子生产设备安装工程施工及验收规范 GB,50467的有关规定、