5 4 化学气相淀积系统5，4,1。化学气相淀积系统的安装应符合下列规定、1。应由专业人员正确接入工艺气体管路及真空管路,工艺气体应根据不同的化学气相淀积技术进行选择,2、气体管道及管道部件应使用耐腐蚀不锈钢材料 在气路部分.气源瓶柜、真空排气部分、机柜上方应设排风口 且排风管道的内径不得小于50mm,3,对使用危险气体SiH4、PH4.SF6 CH4、CF6的化学气相淀积系统、安装时应同时安装危险气体泄漏报警装置、4。工艺腔室内的部件及馈气管道在安装前应进行清洁和干燥处理,5，机壳接地电阻不应大于4Ω.6,循环冷却水温度应为18。26.压力应符合设备指标要求 5、4 2,化学气相淀积系统的调试及试运行应符合下列规定.1，应检查紧急按钮是否有效 2,启动真空泵时、运行状态应符合下列规定、1,噪声.振动应无异常、2.真空室真空度可在规定时间内降到规定值。本底真空的压力值应控制在2、10、4Pa以下,极限真空的压力值可达到8，10,5Pa。3，应延长真空泵的抽气时间.3、具备加热功能的设备应做空载烘烤处理。4。根据设备要求应设置高纯氮气或氦气等保护气体流量,并应向炉内通入保护气体进行吹扫。5,待淀积的样片应清洗 烘干后应装入在炉管内的载片舟内,并应将载片舟调整到工作位置,6、设定淀积温度，淀积时间 淀积工艺气体比例和进气量。淀积压力.应在抽气正常的情况下通入工艺气体、7。运行淀积程序进行淀积时.应定期检查工艺气体和保护气体流量,8,淀积程序完成后取出已淀积样片 用光学膜厚测试仪测试膜层的厚度均匀性、附着力 膜层组分和晶体结构应满足要求。膜厚均匀性应符合设备指标要求