5、4 化学气相淀积系统5，4、1.化学气相淀积系统的安装应符合下列规定，1.应由专业人员正确接入工艺气体管路及真空管路,工艺气体应根据不同的化学气相淀积技术进行选择。2。气体管道及管道部件应使用耐腐蚀不锈钢材料 在气路部分,气源瓶柜 真空排气部分.机柜上方应设排风口、且排风管道的内径不得小于50mm。3,对使用危险气体SiH4 PH4，SF6 CH4,CF6的化学气相淀积系统，安装时应同时安装危险气体泄漏报警装置、4,工艺腔室内的部件及馈气管道在安装前应进行清洁和干燥处理.5，机壳接地电阻不应大于4Ω,6,循环冷却水温度应为18.26 压力应符合设备指标要求 5、4。2。化学气相淀积系统的调试及试运行应符合下列规定.1,应检查紧急按钮是否有效.2.启动真空泵时、运行状态应符合下列规定。1.噪声。振动应无异常、2.真空室真空度可在规定时间内降到规定值、本底真空的压力值应控制在2。10.4Pa以下,极限真空的压力值可达到8.10 5Pa、3,应延长真空泵的抽气时间 3 具备加热功能的设备应做空载烘烤处理.4。根据设备要求应设置高纯氮气或氦气等保护气体流量,并应向炉内通入保护气体进行吹扫。5,待淀积的样片应清洗。烘干后应装入在炉管内的载片舟内。并应将载片舟调整到工作位置，6，设定淀积温度。淀积时间，淀积工艺气体比例和进气量,淀积压力 应在抽气正常的情况下通入工艺气体、7 运行淀积程序进行淀积时.应定期检查工艺气体和保护气体流量、8.淀积程序完成后取出已淀积样片,用光学膜厚测试仪测试膜层的厚度均匀性。附着力。膜层组分和晶体结构应满足要求 膜厚均匀性应符合设备指标要求、