4、13，激光调阻机4 13 1,激光调阻机的安装应符合下列规定.1，应通过调节地脚螺栓逐步调平调阻机内的大理石平台.2,调试安全保护门应以输出激光调阻时能可靠关闭为合格。4。13、2、激光调阻机的调试及试运行应符合下列规定.1.应备好待调阻的样品基板及相应探针卡,2，开机后应运行调阻软件，系统应能通过自检.X，Y精密工作台和Z轴升降机构应运行平稳.无晃动.无噪声.3。激光输出应稳定，并可受控.4 激光刻缝应干净。应无电阻材料残留物、边缘应整齐，缝宽不应大于25μm 5 用数字多用表测量微调后的电阻值时,阻值应符合设备指标要求.