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- 微组装生产线工艺设备安装工程施工及验收规范 GB 51037-2014
- 1 总 则
- 2 术 语
- 3 基本规定
- 4 低温共烧陶瓷及厚膜基板制造工艺设备安装、调试及试运行
- 4.1 一般规定
- 4.2 流 延 机
- 4.3 切 片 机
- 4.4 生瓷打孔机
- 4.5 激光打孔机
- 4.6 微孔填充机
- 4.7 丝网印刷机
- 4.8 叠 片 机
- 4.9 等静压层压机
- 4.10 热 切 机
- 4.11 低温共烧陶瓷烧结炉
- 4.12 厚膜烧结炉
- 4.13 激光调阻机
- 5 薄膜基板制造工艺设备安装、调试及试运行
- 6 组装封装工艺设备安装、调试及试运行
- 7 工艺检测设备安装、调试及试运行
- 8 工程验收
- 附录A 微组装生产线工艺设备安装工程验收记录用表
- 本规范用词说明
- 引用标准名录
- 条文说明
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4,13 激光调阻机4、13。1 激光调阻机的安装应符合下列规定.1。应通过调节地脚螺栓逐步调平调阻机内的大理石平台、2 调试安全保护门应以输出激光调阻时能可靠关闭为合格.4.13.2,激光调阻机的调试及试运行应符合下列规定.1,应备好待调阻的样品基板及相应探针卡 2。开机后应运行调阻软件.系统应能通过自检.X，Y精密工作台和Z轴升降机构应运行平稳、无晃动。无噪声.3。激光输出应稳定，并可受控,4，激光刻缝应干净.应无电阻材料残留物，边缘应整齐。缝宽不应大于25μm.5.用数字多用表测量微调后的电阻值时,阻值应符合设备指标要求,